[實(shí)用新型]全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921072567.4
• 申請日: 2019-07-10
• 公開（公告）號: CN209880568U
• 公開（公告）日: 2019-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 向永富
• 申請（專利權(quán)）人: 蘇州璞智自動(dòng)化科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)，其特征是，包括機(jī)臺(1)、X軸向輸送臺一(2)、X軸向輸送臺二(3)、Y軸向輸送臺一(4)、Y軸向輸送臺二(5)、升降臺(6)、上下直線模組(7)、傳送平臺(8)、緩存框體(9)、轉(zhuǎn)桿(10)、框體驅(qū)動(dòng)氣缸(11)和污物吹除機(jī)構(gòu)(12)，所述機(jī)臺(1)上固定有升降臺(6)、Y軸向輸送臺一(4)、Y軸向輸送臺二(5)、上下直線模組(7)、框體驅(qū)動(dòng)氣缸(11)、污物吹除機(jī)構(gòu)(12)，X軸向輸送臺一(2)兩端分別固定在升降臺(6)的平臺上，Y軸向輸送臺一(4)上設(shè)有用于穿過X軸向輸送臺一(2)的凹槽，X軸向輸送臺一(2)與X軸向輸送臺二(3)位于同一直線上，傳送平臺(8)固定在上下直線模組(7)的滑座上，傳送平臺(8)相鄰的兩側(cè)分別朝向X軸向輸送臺二(3)的端頭和Y軸向輸送臺二(5)的端頭，X軸向輸送臺二(3)穿過緩存框體(9)和污物吹除機(jī)構(gòu)(12)，緩存框體(9)的兩側(cè)板均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有數(shù)個(gè)用于放置硅片的轉(zhuǎn)桿(10)，緩存框體(9)的底板固定在框體驅(qū)動(dòng)氣缸(11)的活塞桿上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)，其特征在于：所述污物吹除機(jī)構(gòu)(12)由固定框(121)、腔室(122)和噴氣嘴(123)組成，固定框(121)固定在機(jī)臺(1)上，固定框(121)上下兩端分別固定有腔室(122)，腔室(122)與噴氣嘴(123)固定并連同，腔室(122)與氣泵相連通，X軸向輸送臺二(3)穿過固定框(121)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)，其特征在于：所述X軸向輸送臺一(2)、X軸向輸送臺二(3)、Y軸向輸送臺一(4)、Y軸向輸送臺二(5)均為皮帶輸送機(jī)，皮帶輸送機(jī)由兩個(gè)平行的臺體、兩條平行的皮帶、數(shù)個(gè)傳動(dòng)輪和電機(jī)組成，臺體上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有數(shù)個(gè)傳動(dòng)輪，臺體上的傳動(dòng)輪均貼合于皮帶內(nèi)圈，組成皮帶輸送機(jī)的兩個(gè)臺體相互對稱，兩個(gè)相互對稱的臺體上相對應(yīng)的傳動(dòng)輪均通過軸桿固定連接在一起，電機(jī)的輸出軸通過傳動(dòng)帶與其中一個(gè)軸桿相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)，其特征在于：所述Y軸向輸送臺一(4)的臺體上開設(shè)有兩個(gè)凹槽，X軸向輸送臺一(2)的兩個(gè)臺體分別穿過Y軸向輸送臺一(4)的臺體上的兩個(gè)凹槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)，其特征在于：所述升降臺(6)由升降氣缸和平板組成，升降氣缸的缸體固定在機(jī)臺(1)上，升降氣缸的活塞桿端固定有平板，平板固定在X軸向輸送臺一(2)的臺體底端。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的全自動(dòng)刻蝕上料機(jī)，其特征在于：所述傳送平臺(8)由平臺(81)、驅(qū)動(dòng)電機(jī)(82)、傳送帶(83)和滑槽(84)組成，平臺(81)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩根相互平行的轉(zhuǎn)軸，每根轉(zhuǎn)軸上套設(shè)并固定有兩個(gè)傳動(dòng)輪，兩個(gè)并不位于同一根轉(zhuǎn)軸上的傳動(dòng)輪貼合在一個(gè)傳送帶(83)內(nèi)圈上，平臺(81)上開設(shè)有用于滑動(dòng)花籃的滑槽(84)，滑槽(84)位于兩條傳送帶(83)之間，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(82)的輸出軸固定在其中一根轉(zhuǎn)軸端頭上，驅(qū)動(dòng)電機(jī)(82)固定在平臺(81)上，平臺(81)固定在上下直線模組(7)的滑座上。