[實(shí)用新型]一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921065664.0
• 申請(qǐng)日: 2019-07-09
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210626612U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宜
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇斯米克電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01R31/26;G01R1/04
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)，包括晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)、顯微觀察機(jī)(2)和顯示裝置(3)，其特征在于：所述顯微觀察機(jī)(2)和顯示裝置(3)均安裝在晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)的上表面，所述晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)的下端表面安裝有支撐腳(4)，所述支撐腳(4)包括底板(41)、緩沖橡膠墊(42)、緩沖腔(43)、套環(huán)(44)、轉(zhuǎn)球(45)、螺桿(46)和內(nèi)螺紋套筒(47)，所述緩沖橡膠墊(42)粘合在底板(41)的下表面，所述緩沖腔(43)開(kāi)設(shè)在緩沖橡膠墊(42)的內(nèi)部，所述套環(huán)(44)旋合在底板(41)的上表面，所述轉(zhuǎn)球(45)安裝在套環(huán)(44)和底板(41)之間，所述內(nèi)螺紋套筒(47)焊接在晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)的內(nèi)部，所述螺桿(46)的下端焊接在轉(zhuǎn)球(45)的表面，所述螺桿(46)的上端旋合在內(nèi)螺紋套筒(47)的內(nèi)部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)的兩側(cè)均安裝有輸送架(5)，所述晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)的側(cè)表面開(kāi)設(shè)有限位槽(7)，所述輸送架(5)的端部焊接有限位塊(6)，所述限位塊(6)安裝在限位槽(7)的內(nèi)部。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述輸送架(5)包括支架、電機(jī)滾筒和輸送皮帶，電機(jī)滾筒安裝在支架的表面，輸送皮帶套接在電機(jī)滾筒的外部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述套環(huán)(44)為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述套環(huán)(44)上端的內(nèi)徑比轉(zhuǎn)球(45)的直徑小1cm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述支撐腳(4)共設(shè)置有四個(gè)，四個(gè)所述支撐腳(4)分別位于晶圓測(cè)試機(jī)臺(tái)(1)下端的四個(gè)拐角處。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅晶圓測(cè)試用探針機(jī)臺(tái)，其特征在于：所述轉(zhuǎn)球(45)為球狀結(jié)構(gòu)，所述轉(zhuǎn)球(45)的表面開(kāi)設(shè)有正六邊形孔。