[實(shí)用新型]石墨舟及使用該石墨舟的PECVD設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921036589.5
• 申請(qǐng)日: 2019-07-04
• 公開（公告）號(hào): CN210394518U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧金生;王凱;趙峰;李操政
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/505
• 分類號(hào): C23C16/505;C23C16/458
• 代理公司: 深圳市康弘知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44247
• 代理人: 萬景旺

1.一種石墨舟，包括多片縱向間隔排列的石墨舟片（1），其特征在于，所述石墨舟沿縱向分成多個(gè)子單元（2），相鄰兩個(gè)子單元（2）的相鄰兩片石墨舟片（11）之間填充絕緣材料（3），且每個(gè)子單元都設(shè)有獨(dú)立電極形成單獨(dú)的輝光區(qū)。

2.如權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（11）延長(zhǎng)度方向?yàn)橐粋€(gè)整體。

3.如權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（11）延長(zhǎng)度方向分為間隔的多段，且間隔處填充導(dǎo)電材料（4）。

4.如權(quán)利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（11）延長(zhǎng)度方向分為間隔的多段，且間隔處填充絕緣材料。

5.一種PECVD設(shè)備，其特征在于，使用如權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的石墨舟。