[實用新型]一種用于晶圓打膠機的托盤

有效

• 申請號: 201921034604.2
• 申請日: 2019-07-04
• 公開（公告）號: CN209963026U
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 劉朝輝
• 申請（專利權）人: 浙江光特科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/673
• 代理公司: 33274 紹興普華聯合專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 韓云涵

1.一種用于晶圓打膠機的托盤，包括托盤(1)本體，其特征在于：所述托盤(1)的外周設有凸環(13)，所述凸環(13)上設有開口(11)，所述開口(11)的底部通至托盤(1)的上表面，所述托盤(1)上設有若干通風孔(12)，所述托盤(1)的上方設有隔板(2)，所述隔板(2)的直徑與凸環(13)的內徑相同，所述隔板(2)上設有第一晶圓承載區(21)和第二晶圓承載區(22)，所述第一晶圓承載區(21)有若干個且均布在隔板(2)上，所述第一晶圓承載區(21)為通孔且直徑與晶圓直徑相匹配，所述第二晶圓承載區(22)為凹槽且直徑與晶圓直徑相匹配，所述第二晶圓承載區(22)位于隔板(2)的中間位置且疊加在第一晶圓承載區(21)的上方，所述第二晶圓承載區(22)底部設有通槽(23)，所述通槽(23)垂直設有兩個，所述通槽(23)連通兩個對稱設置的第一晶圓承載區(21)。

2.如權利要求1所述一種用于晶圓打膠機的托盤，其特征在于：所述托盤直徑為100mm，所述凸環(13)的高度為6mm-12mm，所述通風孔(12)的直徑為2mm-5mm且兩個通風孔(12)之間的間距為8mm-12mm，所述開口(11)長度為12mm-20mm。

3.如權利要求1所述一種用于晶圓打膠機的托盤，其特征在于：所述第一晶圓承載區(21)的數量為4個且直徑為50.8mm，所述第二晶圓承載區(22)的直徑為75.2mm。