[實(shí)用新型]半導(dǎo)體單晶爐閥板吹氣結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201921033991.8
• 申請(qǐng)日: 2019-07-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210546757U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏孝平;賀賢漢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海漢虹精密機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): B08B5/02
• 分類號(hào): B08B5/02
• 代理公司: 上海申浩律師事務(wù)所 31280
• 代理人: 龔敏

本實(shí)用新型提供半導(dǎo)體單晶爐閥板吹氣結(jié)構(gòu)，包括一體式閥體以及可在閥體內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的閥板，閥板的一側(cè)為閥板軸，閥板軸的右端伸出閥體，閥板軸的右端與導(dǎo)入氬氣的氬氣進(jìn)氣座可拆卸連接，閥體的外壁上還安裝有驅(qū)動(dòng)閥板軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接氬氣進(jìn)氣座；氬氣進(jìn)氣座上開(kāi)設(shè)有用于導(dǎo)入氬氣的導(dǎo)入孔；閥板上安裝有吹氣通道，吹氣通道與導(dǎo)入孔對(duì)接導(dǎo)通，吹氣通道上開(kāi)設(shè)有吹氣口，以吹氣口為吹氣通道的出氣端。本專利通過(guò)優(yōu)化傳統(tǒng)的閥板，在閥板上增設(shè)有吹氣通道，便于向外吹出氣體，實(shí)現(xiàn)氧化物的吹離，避免氧化物附著在閥板的外表面。由于將導(dǎo)入孔設(shè)置在氬氣進(jìn)氣座上，實(shí)現(xiàn)閥板旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，仍能保證吹氣通道的正常供氣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及單晶爐。

背景技術(shù)

隔離閥是單晶爐的主要部件之一，隔離閥是為籽晶或單晶提供進(jìn)入副爐室的通道，同時(shí)可以維持上下?tīng)t室的局部壓力和溫度。

為了保證拉晶的成品率，隔離閥的閥板的表面的質(zhì)量也是影響因素之一。目前單晶爐往往通過(guò)爐蓋上安裝有吹氣結(jié)構(gòu)或者水冷法蘭上安裝有吹氣結(jié)構(gòu)，對(duì)閥板進(jìn)行吹氣，避免氧化物附著在閥板表面，然而這種方式，仍會(huì)導(dǎo)致氧化物積累在閥板的表面的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供半導(dǎo)體單晶爐閥板吹氣結(jié)構(gòu)，以解決的吹氣結(jié)構(gòu)對(duì)閥板上防氧化物附著的吹氣效果不佳的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：半導(dǎo)體單晶爐閥板吹氣結(jié)構(gòu)，包括閥體以及可在閥體內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)的閥板，所述閥板的一側(cè)為閥板軸，所述閥板軸的右端伸出所述閥體，其特征在于，所述閥板軸的右端與一用于導(dǎo)入氬氣的氬氣進(jìn)氣座可拆卸連接，所述閥體的外壁上還安裝有一驅(qū)動(dòng)閥板軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)連接所述氬氣進(jìn)氣座；

所述氬氣進(jìn)氣座上開(kāi)設(shè)有用于導(dǎo)入氬氣的導(dǎo)入孔；

所述閥板上安裝有吹氣通道，所述吹氣通道與所述導(dǎo)入孔對(duì)接導(dǎo)通，所述吹氣通道上開(kāi)設(shè)有吹氣口，以所述吹氣口為所述吹氣通道的出氣端。

本專利通過(guò)優(yōu)化傳統(tǒng)的閥板，在閥板上增設(shè)有吹氣通道，便于向外吹出氣體，實(shí)現(xiàn)氧化物的吹離，避免氧化物附著在閥板的外表面。由于將導(dǎo)入孔設(shè)置在氬氣進(jìn)氣座上，實(shí)現(xiàn)閥板旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，仍能保證吹氣通道的正常供氣。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述閥板軸的左端可拆卸連接有旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的左端伸出所述閥體，所述旋轉(zhuǎn)軸的外圍套設(shè)有左側(cè)壓蓋，所述左側(cè)壓蓋與所述閥體可拆卸連接，所述左側(cè)壓蓋與所述閥體之間安裝有密封圈，所述左側(cè)壓蓋與所述旋轉(zhuǎn)軸之間安裝有密封圈；

所述氬氣進(jìn)氣座的外圍套設(shè)有右側(cè)壓蓋，所述右側(cè)壓蓋與所述閥體可拆卸連接，所述右側(cè)壓蓋與所述閥體之間安裝有密封圈，所述右側(cè)壓蓋與所述氬氣進(jìn)氣座之間安裝有密封圈。

便于實(shí)現(xiàn)閥板安裝處的密封性。

進(jìn)一步優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)軸的左端通過(guò)螺釘可拆卸連接有一旋轉(zhuǎn)座；

所述旋轉(zhuǎn)座與驅(qū)動(dòng)閥板轉(zhuǎn)動(dòng)的左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接；

所述左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)鏡像對(duì)稱設(shè)置在所述閥體的左右兩側(cè)。

便于實(shí)現(xiàn)閥板的左右兩端帶動(dòng)閥板的轉(zhuǎn)動(dòng)。

進(jìn)一步優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)座設(shè)有徑向向外延伸的旋轉(zhuǎn)座延伸部；

所述左側(cè)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括左側(cè)氣缸，所述左側(cè)氣缸的缸體鉸接在所述閥體上，所述左側(cè)氣缸的活塞桿與旋轉(zhuǎn)座延伸部鉸接；

所述氬氣進(jìn)氣座設(shè)有徑向向外延伸的氬氣進(jìn)氣座延伸部；

所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括右側(cè)氣缸，所述右側(cè)氣缸的缸體鉸接在所述閥體上，所述右側(cè)氣缸的活塞桿與氬氣進(jìn)氣座延伸部鉸接。

便于通過(guò)左側(cè)氣缸以及右側(cè)氣缸的伸縮，進(jìn)而帶動(dòng)閥板的旋轉(zhuǎn)。