[實用新型]半導體單晶爐閥板吹氣結構有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201921033991.8 | 申請日： | 2019-07-04 |
| 公開（公告）號： | CN210546757U | 公開（公告）日： | 2020-05-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 夏孝平;賀賢漢 | 申請（專利權）人： | 上海漢虹精密機械有限公司 |
| 主分類號： | B08B5/02 | 分類號： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海申浩律師事務所 31280 | 代理人： | 龔敏 |
| 地址： | 200444 上海市寶*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 單晶爐閥板 吹氣 結構 | ||
1.半導體單晶爐閥板吹氣結構，包括閥體以及可在閥體內轉動的閥板，所述閥板的一側為閥板軸，所述閥板軸的右端伸出所述閥體，其特征在于，所述閥板軸的右端與一用于導入氬氣的氬氣進氣座可拆卸連接，所述閥體的外壁上還安裝有一驅動閥板軸旋轉的旋轉驅動機構，所述旋轉驅動機構驅動連接所述氬氣進氣座；
所述氬氣進氣座上開設有用于導入氬氣的導入孔；
所述閥板上安裝有吹氣通道，所述吹氣通道與所述導入孔對接導通，所述吹氣通道上開設有吹氣口，以所述吹氣口為所述吹氣通道的出氣端。
2.根據權利要求1所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述閥板軸的左端可拆卸連接有旋轉軸，所述旋轉軸的左端伸出所述閥體，所述旋轉軸的外圍套設有左側壓蓋，所述左側壓蓋與所述閥體可拆卸連接，所述左側壓蓋與所述閥體之間安裝有密封圈，所述左側壓蓋與所述旋轉軸之間安裝有密封圈；
所述氬氣進氣座的外圍套設有右側壓蓋，所述右側壓蓋與所述閥體可拆卸連接，所述右側壓蓋與所述閥體之間安裝有密封圈，所述右側壓蓋與所述氬氣進氣座之間安裝有密封圈。
3.根據權利要求2所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述旋轉軸的左端通過螺釘可拆卸連接有一旋轉座；
所述旋轉座與驅動閥板轉動的左側驅動機構傳動連接；
所述左側驅動機構與所述旋轉驅動機構鏡像對稱設置在所述閥體的左右兩側。
4.根據權利要求3所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述旋轉座設有徑向向外延伸的旋轉座延伸部；
所述左側驅動機構包括左側氣缸，所述左側氣缸的缸體鉸接在所述閥體上，所述左側氣缸的活塞桿與旋轉座延伸部鉸接；
所述氬氣進氣座設有徑向向外延伸的氬氣進氣座延伸部；
所述旋轉驅動機構包括右側氣缸，所述右側氣缸的缸體鉸接在所述閥體上，所述右側氣缸的活塞桿與氬氣進氣座延伸部鉸接。
5.根據權利要求1所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述吹氣通道設置在所述閥板靠近單晶爐下爐室的一側。
6.根據權利要求1所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述閥體上開設有用于嵌入吹氣通道的嵌入槽，所述吹氣通道嵌設在嵌入槽內。
7.根據權利要求3所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述閥板上安裝有用于輸送冷卻水的水冷管道，所述氬氣進氣座上開設有與所述水冷管道對接導通的進水孔，所述旋轉座上開設有與所述水冷管道對接導通的出水孔；
所述水冷管道與所述吹氣通道沿著軸向依次設置。
8.根據權利要求1所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述吹氣通道包括主通道以及兩個平行設置的分支通道，所述主通道與所述導入孔對接導通，所述分支通道與所述主通道對接導通；
所述吹氣通道還包括至少三個沿著徑向從內至外依次排布的弧形通道，至少三個弧形通道依次交替與兩個分支通道對接導通。
9.根據權利要求8所述的半導體單晶爐閥板吹氣結構，其特征在于：所述弧形通道上均勻開設有至少5個吹氣口。
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