[實用新型]一種晶棒開方上料夾持裝置

有效

• 申請號: 201921031413.0
• 申請日: 2019-07-03
• 公開（公告）號: CN210910672U
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 解培玉;段景波;徐公志;王寶超;于秀升
• 申請（專利權）人: 青島高測科技股份有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00;B28D7/04
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 張明利

本實用新型涉及一種晶棒開方上料夾持裝置，屬于晶硅加工技術領域，包括底座，所述底座上設有工作臺和對中組件，所述工作臺上設有支撐座、上料壓緊組件以及驅動組件，支撐座用于支撐晶棒，上料壓緊組件用于壓緊位于支撐座上的晶棒的頂部，對中組件用于夾持位于支撐座上的晶棒的側面，實現對中操作，驅動組件帶動支撐座、上料壓緊組件沿著底座上的導軌滑動，實現上料，本實用新型借助上料壓緊組件可適應圓形、方形和菱形不同形狀的晶棒夾持，省去了上下晶棒時的大量輔助時間，采用上下壓緊的方式夾持住晶棒，夾持穩定，同時，借助對中組件提高對中精度，使晶棒長度方向平行于導軌方向，確保開方垂直度，借助驅動組件提高工作臺橫向移動精度。

技術領域

本實用新型屬于晶硅加工技術領域，具體地說涉及一種晶棒開方上料夾持裝置。

背景技術

制作太陽能電池板所用硅片的制造工序分為：拉晶、截斷、開方、磨倒、切片等幾個步驟。拉晶是在拉晶爐內通過化學沉積的方式生成圓柱體型的單晶硅棒，長度最大可達6米；截斷是指把拉晶出來的單晶硅棒截成長度不等(100～700mm)的小段；開方是指把截斷出的不同長度的單晶硅棒切成長方體型；磨倒是指用磨具把開方后長方體型的單晶硅棒的四個表面進行磨拋，以及四個棱邊進行倒圓的過程。切片是指把磨倒后的長方體型的單晶硅棒切成0.15mm左右厚的硅片用于最后的太陽能電池板的制作。其中開方的過程是把圓柱型的單晶硅棒切成長方體型，則會產生四塊形狀不規則(截面呈弧形⌒)的余料(行業內稱為邊皮)。開方后的晶棒還需要進行四個棱角的切割，以便于節省磨床工位磨削棱角的時間。不同切割工藝需要切換不同的夾持方法，晶棒上下料時耗費大量輔助時間。

實用新型內容

針對現有技術的種種不足，為了解決上述問題，現提出一種晶棒開方上料夾持裝置，可適應圓形、方形、棱形三種不同形狀的晶棒夾持。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種晶棒開方上料夾持裝置，包括底座，所述底座上設有工作臺，所述工作臺上設有：

支撐座，其用于支撐晶棒；

上料壓緊組件，其位于支撐座上方，用于壓緊位于支撐座上的晶棒的頂部；

驅動組件，所述底座上設有導軌，驅動組件帶動支撐座、上料壓緊組件沿著導軌滑動，實現上料；

對中組件，其跨設于工作臺上方且與底座固連，用于夾持位于支撐座上的晶棒的側面，實現對中操作。

優選地，所述上料壓緊組件包括支撐架、上料氣缸和上料壓板，所述上料氣缸沿著豎直方向設置，其缸體端通過支撐架與工作臺連接，其活塞端與上料壓板連接，所述上料壓板沿著晶棒的長度方向設置。

優選地，所述上料壓板的下方設有上料壓塊，且上料壓塊設為V型結構，且V型結構的開口正對晶棒。

優選地，所述支撐座上方設有與上料壓塊結構相同的支撐壓塊。

優選地，所述支撐架上沿著豎直方向設置有靠板，用于與晶棒的端面相抵。

優選地，所述對中組件包括對中支架、卡爪氣缸和對中靠板，所述對中支架沿著豎直方向設置，其底部與底座固連，所述卡爪氣缸沿著垂直于晶棒長度方向設置，其缸體端與對中支架固連，其活塞端與對中靠板連接，所述對中靠板沿著豎直方向設置。

優選地，所述卡爪氣缸和對中靠板均設有對稱的設有2個，且對中靠板與晶棒的切割面相貼。

優選地，所述對中組件沿著晶棒的長度方向至少設置1個。

優選地，所述驅動組件包括驅動電機、縱向間隙齒輪、橫向間隙齒輪和齒條，所述齒條固設于底座上，所述縱向間隙齒輪、橫向間隙齒輪分別與齒條相嚙合，所述驅動電機通過減速機與縱向間隙齒輪傳動連接。