[實(shí)用新型]一種晶棒開方上料夾持裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201921031413.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-07-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN210910672U | 公開（公告）日： | 2020-07-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 解培玉;段景波;徐公志;王寶超;于秀升 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 青島高測(cè)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B28D5/00 | 分類號(hào)： | B28D5/00;B28D7/04 |
| 代理公司： | 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 張明利 |
| 地址： | 266000 山東省青*** | 國省代碼： | 山東;37 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 開方 夾持 裝置 | ||
1.一種晶棒開方上料夾持裝置，包括底座，所述底座上設(shè)有工作臺(tái)(19)，其特征在于，所述工作臺(tái)(19)上設(shè)有：
支撐座(1)，其用于支撐晶棒(4)；
上料壓緊組件(2)，其位于支撐座(1)上方，用于壓緊位于支撐座(1)上的晶棒(4)的頂部；
驅(qū)動(dòng)組件(5)，所述底座上設(shè)有導(dǎo)軌(6)，驅(qū)動(dòng)組件(5)帶動(dòng)支撐座(1)、上料壓緊組件(2)沿著導(dǎo)軌(6)滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)上料；
所述底座上還設(shè)有對(duì)中組件(3)，其跨設(shè)于工作臺(tái)(19)上方且與底座固連，用于夾持位于支撐座(1)上的晶棒(4)的側(cè)面，實(shí)現(xiàn)對(duì)中操作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述上料壓緊組件(2)包括支撐架(7)、上料氣缸(8)和上料壓板(9)，所述上料氣缸(8)沿著豎直方向設(shè)置，其缸體端通過支撐架(7)與工作臺(tái)(19)連接，其活塞端與上料壓板(9)連接，所述上料壓板(9)沿著晶棒(4)的長度方向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述上料壓板(9)的下方設(shè)有上料壓塊(11)，且上料壓塊(11)設(shè)為V型結(jié)構(gòu)，且V型結(jié)構(gòu)的開口正對(duì)晶棒(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述支撐座(1)上方設(shè)有與上料壓塊(11)結(jié)構(gòu)相同的支撐壓塊(15)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述支撐架(7)上沿著豎直方向設(shè)置有靠板(10)，用于與晶棒(4)的端面相抵。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述對(duì)中組件(3)包括對(duì)中支架(12)、卡爪氣缸(13)和對(duì)中靠板(14)，所述對(duì)中支架(12)沿著豎直方向設(shè)置，其底部與底座固連，所述卡爪氣缸(13)沿著垂直于晶棒(4)長度方向設(shè)置，其缸體端與對(duì)中支架(12)固連，其活塞端與對(duì)中靠板(14)連接，所述對(duì)中靠板(14)沿著豎直方向設(shè)置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述卡爪氣缸(13)和對(duì)中靠板(14)均設(shè)有對(duì)稱的設(shè)有2個(gè)，且對(duì)中靠板(14)與晶棒(4)的切割面相貼。
8.根據(jù)權(quán)利要求1－7任一所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述對(duì)中組件(3)沿著晶棒(4)的長度方向至少設(shè)置1個(gè)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)組件(5)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(16)、縱向間隙齒輪、橫向間隙齒輪(17)和齒條(18)，所述齒條(18)固設(shè)于底座上，所述縱向間隙齒輪、橫向間隙齒輪(17)分別與齒條(18)相嚙合，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(16)通過減速機(jī)與縱向間隙齒輪傳動(dòng)連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶棒開方上料夾持裝置，其特征在于，所述縱向間隙齒輪通過固定板一(20)與工作臺(tái)(19)連接，且固定板一(20)上設(shè)有縱向條形槽(22)，橫向間隙齒輪(17)通過固定板二(21)與工作臺(tái)(19)連接，且固定板二(21)上設(shè)有橫向條形槽(23)，固定板一(20)、固定板二(21)與工作臺(tái)(19)的相對(duì)位置可調(diào)。
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