[實用新型]半導體設備的器件清洗設備

有效

• 申請號: 201921021596.8
• 申請日: 2019-07-03
• 公開（公告）號: CN210358285U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 王迪杏;蔣偉;王寧;張陽;秦文兵;王金裕;苗全;盛路陽;王偉;顧育琪
• 申請（專利權）人: 無錫迪淵特科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了半導體設備的器件清洗設備，包括支撐腿，支撐腿頂部固定連接有橫梁，支撐腿設置有兩個，橫梁上固定安裝有若干水泵，水泵設置有兩個，兩個水泵均與噴管之間相互連通，有益效果是：本裝置通過設置有底板和若干側板，可以將器件放置在側板之間的底板上，在將蓋板蓋在底板上方，將螺栓插入一號板和二號板，在通過旋緊螺帽使得螺栓固定，從而完成蓋板與底板的連接，將水泵與水管連接，打開水龍頭和水泵，將水輸送至噴管，由噴頭噴灑出，對器件進行清洗，清洗過程中，啟動伺服電機，利用伺服電機帶動底板轉動，從而使得器件進行全面的清洗，側板的設計，能夠同時進行多個器件的清洗，且每個器件通過側板隔開，能夠防止清洗不徹底。

技術領域

本實用新型涉及一種清洗設備，特別涉及半導體設備的器件清洗設備，屬于半導體設備器件清洗技術領域。

背景技術

現有技術中，傳統的半導體設備器件清洗設備大多無法進行多個器件同時進行清洗，且在清洗過程中，無法對器件進行全方位的清洗，導致了清洗的不徹底，因此本實用新型提出半導體設備的器件清洗設備。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供半導體設備的器件清洗設備，本裝置通過設置有底板和若干側板，可以將器件放置在側板之間的底板上，在將蓋板蓋在底板上方，將螺栓插入一號板和二號板，在通過旋緊螺帽使得螺栓固定，從而完成蓋板與底板的連接，將水泵與水管連接，打開水龍頭和水泵，將水輸送至噴管，由噴頭噴灑出，對器件進行清洗，清洗過程中，啟動伺服電機，利用伺服電機帶動底板轉動，從而使得器件進行全面的清洗，側板的設計，能夠同時進行多個器件的清洗，且每個器件通過側板隔開，能夠防止清洗不徹底。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

本實用新型半導體設備的器件清洗設備，包括支撐腿，所述支撐腿頂部固定連接有橫梁，所述支撐腿設置有兩個，所述橫梁上固定安裝有若干水泵，所述水泵設置有兩個，兩個所述水泵均與噴管之間相互連通，所述支撐腿之間設置有蓋板，所述蓋板上相對于橫梁的另一側設置有底板，所述底板與蓋板的尺寸相同，所述底板上固定安裝有若干側板，所述側板之間的距離均相等，所述蓋板兩端和底板兩端分別設置有一號板和二號板，所述一號板和二號板上插設有螺栓，所述螺栓設置在二號板外側的一端上螺紋連接有螺帽，其中一個所述二號板一端通過連接軸轉動連接有軸承，所述軸承固定安裝在支撐腿上，另一個所述二號板一端通過電機軸與伺服電機傳動連接，所述伺服電機固定安裝在支撐桿的外側。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述噴管固定安裝在橫梁上，所述噴管上設置有若干噴頭。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述蓋板、底板和側板上均設置有若干過濾孔。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述一號板與二號板之間通過螺栓和螺帽可拆式連接。

本實用新型所達到的有益效果是：本裝置通過設置有底板和若干側板，可以將器件放置在側板之間的底板上，在將蓋板蓋在底板上方，將螺栓插入一號板和二號板，在通過旋緊螺帽使得螺栓固定，從而完成蓋板與底板的連接，將水泵與水管連接，打開水龍頭和水泵，將水輸送至噴管，由噴頭噴灑出，對器件進行清洗，清洗過程中，啟動伺服電機，利用伺服電機帶動底板轉動，從而使得器件進行全面的清洗，側板的設計，能夠同時進行多個器件的清洗，且每個器件通過側板隔開，能夠防止清洗不徹底。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型的結構示意圖；

圖2是本實用新型A處放大結構示意圖。