[實用新型]半導(dǎo)體設(shè)備的器件清洗設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201921021596.8
• 申請日: 2019-07-03
• 公開（公告）號: CN210358285U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王迪杏;蔣偉;王寧;張陽;秦文兵;王金裕;苗全;盛路陽;王偉;顧育琪
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫迪淵特科技有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.半導(dǎo)體設(shè)備的器件清洗設(shè)備，其特征在于，包括支撐腿(1)，所述支撐腿(1)頂部固定連接有橫梁(2)，所述支撐腿(1)設(shè)置有兩個，所述橫梁(2)上固定安裝有若干水泵(3)，所述水泵(3)設(shè)置有兩個，兩個所述水泵(3)均與噴管(4)之間相互連通，所述支撐腿(1)之間設(shè)置有蓋板(6)，所述蓋板(6)上相對于橫梁(2)的另一側(cè)設(shè)置有底板(7)，所述底板(7)與蓋板(6)的尺寸相同，所述底板(7)上固定安裝有若干側(cè)板(8)，所述側(cè)板(8)之間的距離均相等，所述蓋板(6)兩端和底板(7)兩端分別設(shè)置有一號板(9)和二號板(10)，所述一號板(9)和二號板(10)上插設(shè)有螺栓(11)，所述螺栓(11)設(shè)置在二號板(10)外側(cè)的一端上螺紋連接有螺帽(12)，其中一個所述二號板(10)一端通過連接軸(13)轉(zhuǎn)動連接有軸承(14)，所述軸承(14)固定安裝在支撐腿(1)上，另一個所述二號板(10)一端通過電機(jī)軸與伺服電機(jī)(15)傳動連接，所述伺服電機(jī)(15)固定安裝在支撐桿的外側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的器件清洗設(shè)備，其特征在于，所述噴管(4)固定安裝在橫梁(2)上，所述噴管(4)上設(shè)置有若干噴頭(5)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的器件清洗設(shè)備，其特征在于，所述蓋板(6)、底板(7)和側(cè)板(8)上均設(shè)置有若干過濾孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備的器件清洗設(shè)備，其特征在于，所述一號板(9)與二號板(10)之間通過螺栓(11)和螺帽(12)可拆式連接。