[實用新型]用于半導體設備的安裝位檢測裝置

有效

• 申請號: 201921021565.2
• 申請日: 2019-07-03
• 公開（公告）號: CN210221072U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 王迪杏;蔣偉;王寧;張陽;秦文兵;王金裕;苗全;盛路陽;王偉;顧育琪
• 申請（專利權）人: 無錫迪淵特科技有限公司
• 主分類號: G01C9/20
• 分類號: G01C9/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了用于半導體設備的安裝位檢測裝置，包括檢測環體，檢測環體的內壁上連接有連接柱，連接柱的頂部中間開設有活動槽，檢測環體的底部連接有銜接立柱，銜接立柱遠離檢測環體的一端連接有放置板，放置板的內壁上連接有輔助撐板，本實用新型所達到的有益效果是：通過輔助撐板能夠使連接柱自身的穩定性更強，通過將放置板安放在環體結構上，在放置前，需要將放置板的底部和環體結構擦拭干凈，避免微塵影響檢測結果，水平檢測儀為液位檢測儀，通過觀察液位的不同能夠直觀的了解到環體結構安裝的水平狀態，能夠及時的做出相對應的調整，銜接立柱為豎立的水平檢測柱制作，通過銜接立柱能夠與水平檢測儀配合，使檢測的水平度更加精準。

技術領域

本實用新型涉及一種檢測裝置，特別涉及用于半導體設備的安裝位檢測裝置，屬于半導體安裝位水平檢測設備技術領域。

背景技術

在半導體設備的平臺上通常會安裝有一個環體結構，此環體結構是半導體設備中較為重要的一項組件，因此對于此環裝結構安裝后的檢測尤為重要，尤其是安裝后的水平度，會直接影響半導體設備后續的使用，安裝不到位時需要對此的停機調整，這無疑會浪費大量的時間，為解決上述的技術問題，本實用新型提出用于半導體設備的安裝位檢測裝置。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是克服現有技術的缺陷，提供用于半導體設備的安裝位檢測裝置，能夠有效的解決上述的技術問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供了如下的技術方案：

本實用新型用于半導體設備的安裝位檢測裝置，包括檢測環體，所述檢測環體的內壁上連接有連接柱，所述連接柱的頂部中間開設有活動槽，所述檢測環體的底部連接有銜接立柱，所述銜接立柱遠離檢測環體的一端連接有放置板，所述放置板的內壁上連接有輔助撐板。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述活動槽包括移動滑塊，所述活動槽內部相對的兩側側壁上均開設有插槽，所述移動滑塊與插槽相對應的位置上固定連接有插板，所述插板活動連接在插槽內。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述移動滑塊與活動槽底部相對的一側上活動連接有若干個移動滾輪，所述移動滑塊的頂端上固定連接有連接板，所述連接板遠離移動滑塊的一側上固定連接有水平檢測儀，所述水平檢測儀為條式檢測儀。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述連接柱為“十”字形結構，所述連接柱通過四端固定連接在檢測環體的內壁上，所述銜接立柱為豎立式的檢測儀且為圓柱形結構。

作為本實用新型的一種優選的技術方案，所述銜接立柱通過遠離檢測環體的一端固定連接在放置板的頂部上，銜接立柱共設立有四根，所述輔助撐板通過兩端傾斜固定連接在連接柱的底部和放置板的內壁上。

本實用新型所達到的有益效果是：通過輔助撐板能夠使連接柱自身的穩定性更強，通過將放置板安放在環體結構上，在放置前，需要將放置板的底部和環體結構擦拭干凈，避免微塵影響檢測結果，水平檢測儀為液位檢測儀，通過觀察液位的不同能夠直觀的了解到環體結構安裝的水平狀態，能夠及時的做出相對應的調整，銜接立柱為豎立的水平檢測柱制作，通過銜接立柱能夠與水平檢測儀配合，使檢測的水平度更加精準，通過移動滾輪能夠使移動滑塊可以根據需要進行靈活的移動，以便檢測不同位置的水平狀態，且移動滾輪與移動滑塊的連接較為靈敏，使移動滑塊移動起來更加方便。

附圖說明

附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本實用新型的實施例一起用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的限制。在附圖中：

圖1是本實用新型的立體結構示意圖；

圖2是本實用新型的平面結構示意圖。