[實用新型]用于半導體設備的安裝位檢測裝置

有效

• 申請號: 201921021565.2
• 申請日: 2019-07-03
• 公開（公告）號: CN210221072U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 王迪杏;蔣偉;王寧;張陽;秦文兵;王金裕;苗全;盛路陽;王偉;顧育琪
• 申請（專利權）人: 無錫迪淵特科技有限公司
• 主分類號: G01C9/20
• 分類號: G01C9/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.用于半導體設備的安裝位檢測裝置，其特征在于，包括檢測環體(1)，所述檢測環體(1)的內壁上連接有連接柱(2)，所述連接柱(2)的頂部中間開設有活動槽(3)，所述檢測環體(1)的底部連接有銜接立柱(4)，所述銜接立柱(4)遠離檢測環體(1)的一端連接有放置板(5)，所述放置板(5)的內壁上連接有輔助撐板(6)。

2.根據權利要求1所述的用于半導體設備的安裝位檢測裝置，其特征在于，所述活動槽(3)包括移動滑塊(31)，所述活動槽(3)內部相對的兩側側壁上均開設有插槽(33)，所述移動滑塊(31)與插槽(33)相對應的位置上固定連接有插板(32)，所述插板(32)活動連接在插槽(33)內。

3.根據權利要求2所述的用于半導體設備的安裝位檢測裝置，其特征在于，所述移動滑塊(31)與活動槽(3)底部相對的一側上活動連接有若干個移動滾輪(34)，所述移動滑塊(31)的頂端上固定連接有連接板(35)，所述連接板(35)遠離移動滑塊(31)的一側上固定連接有水平檢測儀(36)，所述水平檢測儀(36)為條式檢測儀。

4.根據權利要求1所述的用于半導體設備的安裝位檢測裝置，其特征在于，所述連接柱(2)為“十”字形結構，所述連接柱(2)通過四端固定連接在檢測環體(1)的內壁上，所述銜接立柱(4)為豎立式的檢測儀且為圓柱形結構。

5.根據權利要求1所述的用于半導體設備的安裝位檢測裝置，其特征在于，所述銜接立柱(4)通過遠離檢測環體(1)的一端固定連接在放置板(5)的頂部上，銜接立柱(4)共設立有四根，所述輔助撐板(6)通過兩端傾斜固定連接在連接柱(2)的底部和放置板(5)的內壁上。