[實用新型]一種多功能晶片切割設備檢測裝置

有效

• 申請號: 201921013374.1
• 申請日: 2019-06-29
• 公開（公告）號: CN210572029U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 羅愛斌;賓啟雄;彭家煥;孟國浩;譚繼軍;葉水景;周鐵軍
• 申請（專利權）人: 廣東先導先進材料股份有限公司
• 主分類號: G01N21/952
• 分類號: G01N21/952;G01N21/01
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李寧

本實用新型公開了一種多功能晶片切割設備檢測裝置，包括固定夾具、CCD成像儀及顯示器，其中，固定夾具包括相對設置且可相對移動的第一支座及第二支座，第一支座及第二支座分別設置有可旋轉的第一配合部及第二配合部，第一支座及第二支座相互靠近以使待檢測對象可轉動地固定在固定夾具上；CCD成像儀用于拍攝待檢測對象表面圖像，CCD成像儀可往復移動地設置于固定夾具的上方；顯示器與CCD成像儀連接；上述檢測裝置可通過成像設備獲取待檢測對象表面圖像，使檢測人員能夠對待檢測對象的表面進行全面的檢查，對晶片切割斷線異常產生的原因和鋼線斷線進行預防性檢查，并采取相應的預防補救措施，降低斷線發生概率和晶片損失。

技術領域

本實用新型涉及晶片生產設備技術領域，特別涉及一種多功能晶片切割設備檢測裝置。

背景技術

鋼線線槽輪軸是半導體晶體生產中的重要設備，在生產之前，必須對鋼線線槽輪軸上的線槽進行檢視，以防止鋼線線槽輪軸槽位缺陷(如線槽峰異位、槽峰丟失等)導致在生產過程中出現斷線現象造成晶片損失。

目前，由于鋼線線槽輪軸本身重量較大，很難連續翻動，對于檢查局部鋼線和滾軸的微觀結構圖像是非常困難的，對于鋼線和滾軸全表面的微觀結構檢查更是困難，且通常的目視檢查方法也不能很好地檢視壓線現象，也導致有壓線缺陷的鋼線上機后突然斷線的現象。

同時由于鋼線斷線異常有如下眾多原因：

①鋼線線槽內咯到大顆粒物質跳線導致兩線在槽內摩擦斷線；

②斷線位置鋼線磨損嚴重導致斷線；

③切割時未打開泥漿閥，無泥漿導致斷線；

④泥漿刮板未鎖緊導致斷線；

⑤實際張力與設置張力不符；

⑥放線張力臂角度超限導致運行異常而斷線；

⑦放線輪內鋼線壓線導致斷線；

⑧鋼線材質不合格；

⑨其他原因；

通過對鋼線斷線后斷頭、斷面的微觀呈現的狀況，以及對晶片切割設備的V型輪、導線輪物料來料或運行后其輪內槽外觀檢查，可以更好地進行斷線異常原因排查，根據異常排查的原因進行斷線問題針對性措施的處理。

因此如何對滾軸、鋼線外觀質量進行全面有效檢測，是本領域技術人員亟待解決的重要技術問題。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種多功能晶片切割設備檢測裝置，以全面有效地對滾軸、鋼線外觀質量進行檢測，減少由于槽位異常、壓線等缺陷造成的斷線現象，減少晶片損失。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種多功能晶片切割設備檢測裝置，包括：

固定夾具，包括相對設置且可相對移動的第一支座以及第二支座，所述第一支座上設置有可旋轉的第一配合部，所述第二支座上設置有可旋轉的第二配合部，所述第一支座以及所述第二支座相互靠近并分別通過所述第一配合部以及所述第二配合部與待檢測對象配合使所述待檢測對象可轉動地固定在所述固定夾具上；

用于拍攝所述待檢測對象表面圖像的CCD成像儀，所述CCD成像儀可在所述第一支座與所述第二支座間往復移動地設置于所述固定夾具的上方；

與所述CCD成像儀連接的顯示器，用于顯示所述CCD成像儀拍攝到的圖像。

優選地，所述第一支座上設置有用于驅動所述第一配合部轉動的第一驅動裝置，所述第一支座以及所述第二支座中的一個上設置有用于驅動所述第一支座與所述第二支座相對運動的第二驅動裝置。