[實用新型]一種多功能晶片切割設備檢測裝置

有效

• 申請號: 201921013374.1
• 申請日: 2019-06-29
• 公開（公告）號: CN210572029U
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 羅愛斌;賓啟雄;彭家煥;孟國浩;譚繼軍;葉水景;周鐵軍
• 申請（專利權）人: 廣東先導先進材料股份有限公司
• 主分類號: G01N21/952
• 分類號: G01N21/952;G01N21/01
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李寧

1.一種多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，包括：

固定夾具，包括相對設置且可相對移動的第一支座以及第二支座，所述第一支座上設置有可旋轉的第一配合部，所述第二支座上設置有可旋轉的第二配合部，所述第一支座以及所述第二支座相互靠近并分別通過所述第一配合部以及所述第二配合部與待檢測對象配合使所述待檢測對象可轉動地固定在所述固定夾具上；

用于拍攝所述待檢測對象表面圖像的CCD成像儀，所述CCD成像儀可在所述第一支座與所述第二支座間往復移動地設置于所述固定夾具的上方；

與所述CCD成像儀連接的顯示器，用于顯示所述CCD成像儀拍攝到的圖像。

2.根據權利要求1所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述第一支座上設置有用于驅動所述第一配合部轉動的第一驅動裝置，所述第一支座以及所述第二支座中的一個上設置有用于驅動所述第一支座與所述第二支座相對運動的第二驅動裝置。

3.根據權利要求2所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述第一驅動裝置包括電機以及減速皮帶輪副，所述減速皮帶輪副的主動輪連接于所述電機的轉軸，所述減速皮帶輪副的從動輪連接與所述第一配合部，所述減速皮帶輪副的皮帶分別與所述主動輪以及所述從動輪配合；

所述第二驅動裝置包括安裝座、絲杠以及手搖輪，所述絲杠可轉動地設置于所述安裝座且所述絲杠的一端與所述手搖輪連接，所述第二支座滑動設置于所述安裝座且所述第二支座通過其底部的螺孔與所述絲杠配合。

4.根據權利要求1-3任意一項所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述固定夾具上還設置有萬向LED燈。

5.根據權利要求1-3任意一項所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述第一配合部以及所述第二配合部被構造成可適配多種孔徑的錐形、柱形或兩者組合的形狀的內孔結構適配件。

6.根據權利要求1-3任意一項所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，還包括用于承載所述待檢測對象的第一承載裝置，所述第一承載裝置設置于所述第一支座以及所述第二支座之間，所述第一承載裝置包括底座、支架以及支承輥，兩個所述支承輥平行并排、相互間隔且可轉動地設置于所述支架，所述支架可升降地設置于所述底座。

7.根據權利要求6所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述支架包括絲桿，所述絲桿可沿自身軸向移動地設置于所述底座，所述底座上設置有蝸輪蝸桿機構，所述蝸輪蝸桿機構的蝸輪與所述絲桿同軸設置，且所述蝸輪通過其中心的螺孔與所述絲桿螺紋配合。

8.根據權利要求7所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述支架上還設置有與所述絲桿平行的導向桿，所述導向桿與所述底座滑動配合。

9.根據權利要求1-3及7-8任意一項所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，所述CCD成像儀通過移動機構設置于所述固定夾具上方，所述移動機構包括橫向移動機構以及縱向移動機構，所述縱向移動機構包括縱向移動平臺，所述縱向移動平臺上設置有縱向滑軌以及縱向驅動裝置，所述CCD成像儀滑動設置于所述縱向滑軌，且所述CCD成像儀能夠在所述縱向驅動裝置的驅動下垂直于所述第一支座與所述第二支座相對移動方向移動，所述橫向移動機構包括與所述第一支座以及所述第二支座相對移動方向平行的橫向滑軌以及設置于所述橫向滑軌上的橫向驅動裝置，所述縱向移動平臺滑動設置于所述橫向滑軌，所述橫向驅動裝置用于驅動所述縱向移動平臺沿所述橫向滑軌移動。

10.根據權利要求1-3及7-8任意一項所述的多功能晶片切割設備檢測裝置，其特征在于，還包括用于承載待檢測對象的第二承載裝置，所述第二承載裝置包括工作臺、驅動輥、第三驅動裝置以及限位檔，兩個所述驅動輥平行并排、相互間隔且可轉動地設置于所述工作臺，兩個所述驅動輥能夠在所述第三驅動裝置的驅動下同步轉動，多個所述限位檔沿所述驅動輥長度方向與待檢測對象相互間隔地設置于兩個所述驅動輥的間隙。