[實用新型]一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置

有效

• 申請號: 201921000339.6
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN209894400U
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 張青濤;饒杰奎;解孝輝
• 申請（專利權）人: 吳江南玻華東工程玻璃有限公司;中國南玻集團股份有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 32103 蘇州創元專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳婷婷

本實用新型公開了一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，用于檢測安裝在真空磁控濺射設備上的高真空冷陰極電離規，高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置包括真空室、用于對真空室抽真空的真空泵系統，真空泵系統包括都與真空室相連接的渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵，高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置還包括與真空室相連通的高真空冷陰極電離規、都與高真空冷陰極電離規相連通的直流電源和電壓表、以及與真空室相連通的皮拉尼真空計。該高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置能夠方便地檢測高真空冷陰極電離規的性能，其結構較為簡單，檢測效率較高，能夠縮短真空磁控濺射設備的停機時間，降低對生產的影響。

技術領域

本實用新型涉及一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置。

背景技術

高真空冷陰極電離規，又稱為冷規、IG表，其利用低壓下氣體分子的電離與壓力有關的特性，用放電電流作為真空度的度量，其可以用在真空磁控濺射設備中測量真空度。高真空冷陰極電離規在使用一定周期后需要進行保養維護。在保養維護后，技術人員不能確定其性能是否完全正常。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其能夠方便快速地檢測出高真空冷陰極電離規的性能是否滿足要求，不影響真空磁控濺射設備的使用。

為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，用于檢測安裝在真空磁控濺射設備上的高真空冷陰極電離規，所述高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置包括真空室、用于對所述真空室抽真空的真空泵系統，所述真空泵系統包括都與所述真空室相連接的渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置還包括與所述真空室相連通的高真空冷陰極電離規、都與所述高真空冷陰極電離規相連通的直流電源和電壓表、以及與所述真空室相連通的皮拉尼真空計。

優選地，所述高真空冷陰極電離規與所述真空室之間設置有第一蝶閥。

優選地，所述渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵串接在一起并依次遠離所述真空室。

進一步優選地，所述渦輪分子泵與羅茨真空泵之間、所述羅茨真空泵與旋片真空泵之間都設置有控制閥。

優選地，所述真空泵系統與所述真空室之間設置有第二蝶閥。

優選地，所述皮拉尼真空計與所述真空室之間設置有第三蝶閥。

優選地，所述真空室為所述真空磁控濺射設備的真空腔室。

由于上述技術方案的運用，本實用新型與現有技術相比具有下列優點：該高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置能夠方便地檢測高真空冷陰極電離規的性能，旋片真空泵、羅茨真空泵、渦輪分子泵抽真空的能力依次增強，在真空室內處于不同的真空度時，依次開啟上述三個泵，能夠最大限度地發揮出各個泵的優勢，減少抽真空的時間；通過皮拉尼真空計檢測高真空冷陰極電離規的保養結果，其結構較為簡單，檢測效率較高，能夠縮短真空磁控濺射設備的停機時間，降低對生產的影響。

附圖說明

附圖1為高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置的結構示意圖；

其中：1、真空室；2、高真空冷陰極電離規；3、皮拉尼真空計；4、渦輪分子泵；5、羅茨真空泵；6、旋片真空泵；7、直流電源；8、電壓表；10、第一蝶閥；20、第二蝶閥；30、第三蝶閥；40、控制閥。

具體實施方式

下面結合附圖來對本實用新型的技術方案作進一步的闡述。