[實用新型]一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置

有效

• 申請號: 201921000339.6
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN209894400U
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發明（設計）人: 張青濤;饒杰奎;解孝輝
• 申請（專利權）人: 吳江南玻華東工程玻璃有限公司;中國南玻集團股份有限公司
• 主分類號: G01L27/00
• 分類號: G01L27/00
• 代理公司: 32103 蘇州創元專利商標事務所有限公司
• 代理人: 陳婷婷

1.一種高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，用于檢測安裝在真空磁控濺射設備上的高真空冷陰極電離規，其特征在于：所述高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置包括真空室、用于對所述真空室抽真空的真空泵系統，所述真空泵系統包括都與所述真空室相連接的渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵，所述高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置還包括與所述真空室相連通的高真空冷陰極電離規、都與所述高真空冷陰極電離規相連通的直流電源和電壓表、以及與所述真空室相連通的皮拉尼真空計。

2.根據權利要求1所述的高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其特征在于：所述高真空冷陰極電離規與所述真空室之間設置有第一蝶閥。

3.根據權利要求1所述的高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其特征在于：所述渦輪分子泵、羅茨真空泵、旋片真空泵串接在一起并依次遠離所述真空室。

4.根據權利要求3所述的高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其特征在于：所述渦輪分子泵與羅茨真空泵之間、所述羅茨真空泵與旋片真空泵之間都設置有控制閥。

5.根據權利要求1所述的高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其特征在于：所述真空泵系統與所述真空室之間設置有第二蝶閥。

6.根據權利要求1所述的高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其特征在于：所述皮拉尼真空計與所述真空室之間設置有第三蝶閥。

7.根據權利要求1所述的高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置，其特征在于：所述真空室為所述真空磁控濺射設備的真空腔室。