[實用新型]一種單晶硅片的雙面拋光裝置

有效

• 申請號: 201920995213.0
• 申請日: 2019-06-28
• 公開（公告）號: CN210209924U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 杜建偉;周偉平
• 申請（專利權）人: 江蘇晶成光學有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/06
• 代理公司: 南京聚匠知識產權代理有限公司 32339
• 代理人: 宋艷

本實用新型公開了一種單晶硅片的雙面拋光裝置，包括機身，機身的上方水平布置有頂板，機身上連接有導柱，導柱上可上下滑動地套接有升降盤，頂板上布置有液壓缸；升降盤中下端固定連接有第一轉軸，第一轉軸上可轉動地連接有上拋光盤；機身上端可轉動地布置有連接盤，連接盤的上端開設有用于容置上拋光盤的上T型槽，連接盤內位于上拋光盤正下方的位置布置有下拋光盤，連接盤內位于上T型槽與下拋光盤中間的位置布置有用于夾緊固定單晶硅片的夾緊固定裝置；下拋光盤的中部固定連接有第二轉軸，第二轉軸的上端可與第一轉軸卡接，第二轉軸的下端連接有布置在機身內側的第一電機。本實用新型通過可轉動的連接盤，能夠保證拋光效果，提高拋光效率。

技術領域

本實用新型涉及一種單晶硅片的雙面拋光裝置，屬于單晶硅片加工技術領域。

背景技術

單晶硅片是一種具有基本完整的點陣結構的晶體，不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料，用于制造半導體器件、太陽能電池等。

單晶硅片在使用前需要通過雙面拋光機對其進行雙面拋光操作，現有雙面拋光機的上、下拋光盤在轉動時基本無支撐，長時間使用容易因晃動影響拋光效果，同時僅對硅片進行單次拋光，拋光效果不理想。

實用新型內容

針對上述現有技術存在的問題，本實用新型提供一種單晶硅片的雙面拋光裝置，通過可轉動的連接盤，能夠保證拋光效果，提高拋光效率。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種單晶硅片的雙面拋光裝置，包括機身，機身的上方水平布置有頂板，機身的上端兩側位于機身與頂板之間的位置均連接有導柱，導柱上可上下滑動地套接有升降盤，頂板上布置有與升降盤相連接的液壓缸；升降盤的中下端固定連接有第一轉軸，第一轉軸上可轉動地連接有上拋光盤；所述機身的上端可轉動地布置有連接盤，所述連接盤的上端開設有用于容置上拋光盤且深度大于上拋光盤高度的上T 型槽，所述連接盤內位于上拋光盤正下方的位置布置有下拋光盤，所述連接盤內位于上T型槽與下拋光盤中間的位置布置有用于夾緊固定單晶硅片的夾緊固定裝置；所述下拋光盤的中部固定連接有第二轉軸，所述第二轉軸的上端可與第一轉軸卡接，所述第二轉軸的下端連接有布置在機身內側的第一電機。

優選地，所述連接盤的內下部與上T型槽連通的位置開設有用于容置下拋光盤的下T型槽，所述下T型槽的長度大于所述下拋光盤的長度。

優選地，所述夾緊固定裝置包括等距離布置在上T型槽豎板內壁上的四個直角V型夾緊固定架，任意兩個相鄰的直角V型夾緊固定架之間均可通過彈性夾緊裝置夾緊固定一個單晶硅片，且所述夾緊固定裝置和豎板的厚度均小于單晶硅片的厚度。

優選地，所述彈性夾緊裝置包括依次連接在直角V型夾緊固定架端部的壓緊彈簧和夾緊塊，所述壓緊彈簧處于自由狀態時任意兩個相鄰的夾緊塊之間的距離小于單晶硅片的長度。

優選地，所述夾緊塊的頂端均布置有彈性緩沖層。

優選地，所述連接盤內與上拋光盤和下拋光盤接觸的位置均為光滑平面。

優選地，所述連接盤的下端兩側對稱連接有第三轉軸，所述機身的內側布置有輸出軸與第三轉軸相連接的第二電機。

優選地，所述第一轉軸的外壁上布置有卡條，所述第二轉軸上開設有與所述卡條適配的卡槽。

與現有技術相比，本實用新型提供了一種單晶硅片的雙面拋光裝置，具備以下有益效果：

1、該單晶硅片的雙面拋光裝置，通過可轉動的連接盤，一方面可使上、下拋光盤轉動時不易晃動，保證了拋光效果，另一方面在初次拋光后，通過轉動連接盤帶動單晶硅片轉動180°，既可在第一次拋光不完全的情況下對殘留的地方進行再次拋光，又可通過反方向拋光增強拋光效果，大大提高了拋光效率，降低了生產成本。