[實(shí)用新型]一種單晶硅片的雙面拋光裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920995213.0
• 申請(qǐng)日: 2019-06-28
• 公開（公告）號(hào): CN210209924U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 杜建偉;周偉平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇晶成光學(xué)有限公司
• 主分類號(hào): B24B29/02
• 分類號(hào): B24B29/02;B24B41/06
• 代理公司: 南京聚匠知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32339
• 代理人: 宋艷

1.一種單晶硅片的雙面拋光裝置，包括機(jī)身(1)，機(jī)身(1)的上方水平布置有頂板(4)，機(jī)身(1)的上端兩側(cè)位于機(jī)身(1)與頂板(4)之間的位置均連接有導(dǎo)柱(2)，導(dǎo)柱(2)上可上下滑動(dòng)地套接有升降盤(3)，頂板(4)上布置有與升降盤(3)相連接的液壓缸(5)；升降盤(3)的中下端固定連接有第一轉(zhuǎn)軸(3-1)，第一轉(zhuǎn)軸(3-1)上可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接有上拋光盤(6)；其特征在于，所述機(jī)身(1)的上端可轉(zhuǎn)動(dòng)地布置有連接盤(7)，所述連接盤(7)的上端開設(shè)有用于容置上拋光盤(6)且深度大于上拋光盤(6)高度的上T型槽(7-1)，所述連接盤(7)內(nèi)位于上拋光盤(6)正下方的位置布置有下拋光盤(10)，所述連接盤(7)內(nèi)位于上T型槽(7-1)與下拋光盤(10)中間的位置布置有用于夾緊固定單晶硅片(12)的夾緊固定裝置；

所述下拋光盤(10)的中部固定連接有第二轉(zhuǎn)軸(10-1)，所述第二轉(zhuǎn)軸(10-1)的上端可與第一轉(zhuǎn)軸(3-1)卡接，所述第二轉(zhuǎn)軸(10-1)的下端連接有布置在機(jī)身(1)內(nèi)側(cè)的第一電機(jī)(8)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述連接盤(7)的內(nèi)下部與上T型槽(7-1)連通的位置開設(shè)有用于容置下拋光盤(10)的下T型槽(7-2)，所述下T型槽(7-2)的長(zhǎng)度大于所述下拋光盤(10)的長(zhǎng)度。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述夾緊固定裝置包括等距離布置在上T型槽(7-1)豎板(7-1-1)內(nèi)壁上的四個(gè)直角V型夾緊固定架(11)，任意兩個(gè)相鄰的直角V型夾緊固定架(11)之間均可通過彈性?shī)A緊裝置夾緊固定一個(gè)單晶硅片(12)，且所述夾緊固定裝置和豎板(7-1-1)的厚度均小于單晶硅片(12)的厚度。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述彈性?shī)A緊裝置包括依次連接在直角V型夾緊固定架(11)端部的壓緊彈簧(11-1)和夾緊塊(11-2)，所述壓緊彈簧(11-1)處于自由狀態(tài)時(shí)任意兩個(gè)相鄰的夾緊塊(11-2)之間的距離小于單晶硅片(12)的長(zhǎng)度。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述夾緊塊(11-2)的頂端均布置有彈性緩沖層(11-3)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述連接盤(7)內(nèi)與上拋光盤(6)和下拋光盤(10)接觸的位置均為光滑平面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述連接盤(7)的下端兩側(cè)對(duì)稱連接有第三轉(zhuǎn)軸(7-3)，所述機(jī)身(1)的內(nèi)側(cè)布置有輸出軸與第三轉(zhuǎn)軸(7-3)相連接的第二電機(jī)(9)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種單晶硅片的雙面拋光裝置，其特征在于，所述第一轉(zhuǎn)軸(3-1)的外壁上布置有卡條，所述第二轉(zhuǎn)軸(10-1)上開設(shè)有與所述卡條適配的卡槽。