[實用新型]一種修整頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920994764.5 | 申請日： | 2019-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN210588808U | 公開（公告）日： | 2020-05-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 許振杰;王春龍 | 申請（專利權）人： | 華海清科股份有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/02 | 分類號： | B24B53/02;B24B53/12;B24B49/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 300350 天津市津南*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 修整 | ||
1.一種修整頭，其特征在于，包括：修整組件和用于承載修整組件的基座組件，所述修整組件可相對于基座組件旋轉并豎直移動以修整拋光墊；并且，所述修整頭中設置有傳感器以監(jiān)測修整組件相對于基座組件的豎直位置。
2.如權利要求1所述的修整頭，其特征在于，所述傳感器為非接觸式位置傳感器。
3.如權利要求1所述的修整頭，其特征在于，所述修整組件的連接軸的上部具有定位環(huán)，并且所述傳感器為固定連接至所述基座組件的磁性開關，所述磁性開關位于所述定位環(huán)圓周外側以測量其豎直方向的移動。
4.如權利要求1所述的修整頭，其特征在于，所述傳感器的數量至少兩個，其設置于基座組件豎直方向的不同位置。
5.如權利要求3所述的修整頭，其特征在于，所述基座組件包括同心地套設于所述連接軸的外側的承載盤，所述承載盤上具有至少兩個用于設置所述傳感器的凹槽。
6.如權利要求5所述的修整頭，其特征在于，所述凹槽沿承載盤的中軸線均勻對稱分布。
7.如權利要求1所述的修整頭，其特征在于，所述基座組件包括基座、上旋轉套及下旋轉套，所述上旋轉套與下旋轉套連接為一體并同心設置于基座內，所述傳感器設置在上旋轉套與下旋轉套之間的豎向空間內。
8.如權利要求7所述的修整頭，其特征在于，所述上旋轉套及下旋轉套為磁導率低的金屬材料。
9.如權利要求7所述的修整頭，其特征在于，所述上旋轉套及下旋轉套為復合材料。
10.如權利要求9所述的修整頭，其特征在于，所述上旋轉套及下旋轉套為被玻璃填充的聚苯硫醚(PPS)或被玻璃填充的聚醚醚酮(PEEK)。
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