[實(shí)用新型]用于蒸發(fā)源材料的蒸發(fā)裝置、蒸發(fā)源和沉積系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920989907.3
• 申請(qǐng)日: 2019-06-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN211227301U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-08-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 塞巴斯蒂安·弗蘭克;伊夫林·舍爾;斯特凡·凱勒;安德烈亞斯·穆勒;佩曼·哈梅格;朱利安·奧巴赫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料公司
• 主分類(lèi)號(hào): C23C14/24
• 分類(lèi)號(hào): C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

1.一種用于蒸發(fā)源材料(150)的蒸發(fā)裝置(100)，其特征在于，包括：

蒸發(fā)坩堝(110)；和

支撐布置(120)，所述支撐布置(120)具有多個(gè)材料托盤(pán)(125)，所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)用于在所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)上布置所述源材料，所述支撐布置可去除地放置在所述蒸發(fā)坩堝的內(nèi)部體積(115)中。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)裝置，其中所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)一個(gè)在另一個(gè)上面地布置在所述支撐布置(120)中。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)裝置，其中所述支撐布置(120)可從所述蒸發(fā)坩堝的所述內(nèi)部體積取出，以便在所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)上再填充源材料。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)裝置，其中所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)包括四個(gè)或更多個(gè)材料托盤(pán)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)裝置，其中所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)包括八個(gè)、十個(gè)或更多個(gè)材料托盤(pán)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)裝置，其中所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)中的一個(gè)或多個(gè)材料托盤(pán)具有板形狀和一個(gè)或多個(gè)凹槽(126)中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置，其中所述支撐布置(120)包括框架結(jié)構(gòu)(121)，所述框架結(jié)構(gòu)(121)支撐所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)，并且所述蒸發(fā)坩堝包括導(dǎo)向件(122)，所述框架結(jié)構(gòu)可以沿著所述導(dǎo)向件(122)插入到所述蒸發(fā)坩堝的所述內(nèi)部體積中。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置，其中所述蒸發(fā)坩堝(110)是瓶子形狀的，并且具有用于所述蒸發(fā)的源材料的蒸汽開(kāi)口(111)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置，所述蒸發(fā)裝置還包括用于加熱所述蒸發(fā)坩堝的所述內(nèi)部體積(115)的加熱單元(130)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置，所述蒸發(fā)裝置還包括在所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)上的所述源材料(150)。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的蒸發(fā)裝置，其中所述源材料(150)包括有機(jī)材料和摻雜劑中的至少一種。

12.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置，其中所述蒸發(fā)坩堝包括用于蒸發(fā)的源材料的蒸汽開(kāi)口(111)，并且屏蔽單元(140)布置在所述蒸汽開(kāi)口(111)與所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)之間。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的蒸發(fā)裝置，其中所述屏蔽單元(140)被配置為減少熱輻射通過(guò)所述蒸汽開(kāi)口(111)進(jìn)入所述蒸發(fā)坩堝的所述內(nèi)部體積(115)。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的蒸發(fā)裝置，其中所述屏蔽單元(140)布置在所述支撐布置中最上面的材料托盤(pán)的上方。

15.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置，其中所述多個(gè)材料托盤(pán)(125)中的兩個(gè)相鄰材料托盤(pán)分別以彼此相距2cm或更遠(yuǎn)且30cm或更短的距離(D1)布置。

16.一種蒸發(fā)源(200)，其特征在于，包括：

根據(jù)權(quán)利要求1至15中任一項(xiàng)所述的蒸發(fā)裝置(100)；以及

蒸汽分配布置(210)，所述蒸汽分配布置(210)與所述蒸發(fā)裝置流體連通，所述蒸汽分配布置包括多個(gè)蒸汽出口(212)以用于朝向基板(10)引導(dǎo)蒸發(fā)的源材料。

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的蒸發(fā)源，其中所述蒸汽分配布置(210)包括線(xiàn)性分配管，所述線(xiàn)性分配管包括多個(gè)蒸汽出口(212)并且在豎直的方向上延伸。