[實用新型]用于蒸發源材料的蒸發裝置、蒸發源和沉積系統

有效

• 申請號: 201920989907.3
• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN211227301U
• 公開（公告）日: 2020-08-11
• 發明（設計）人: 塞巴斯蒂安·弗蘭克;伊夫林·舍爾;斯特凡·凱勒;安德烈亞斯·穆勒;佩曼·哈梅格;朱利安·奧巴赫
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

本文描述的實施方式涉及一種用于蒸發源材料(150)的蒸發裝置(100)，所述蒸發裝置包括蒸發坩堝(110)和支撐布置(120)，所述支撐布置(120)具有多個材料托盤(125)，所述多個材料托盤(125)用于在所述多個材料托盤(125)上布置源材料。所述支撐布置(120)可去除地放置在所述蒸發坩堝(110)的內部體積(115)中。本文描述的實施方式還涉及一種蒸發源(200)和一種具有蒸發裝置(100)的沉積系統(300)。

技術領域

本公開的實施方式涉及一種用于蒸發源材料的蒸發裝置，一種具有蒸發裝置的蒸發源，以及一種用于在基板上沉積蒸發的源材料的沉積系統。本文描述的實施方式還涉及一種用于蒸發待沉積到基板上的源材料的方法。具體地，本文描述的實施方式涉及一種用于蒸發待在沉積系統中沉積到基板上的源材料 (例如有機源材料)的蒸發裝置。

背景技術

用于在基板上沉積材料層的技術包括例如熱蒸發、物理氣相沉積(PVD)和化學氣相沉積(CVD)。經涂覆的基板可用于各種應用和不同的技術領域。例如，經涂覆的基板可用于有機發光二極管(OLED)器件領域。OLED可用于制造電視屏幕、計算機監視器、移動電話、其他手持設備和類似物以顯示信息。OLED 是一種特殊類型的發光二極管，其中發光層包括某些有機化合物的薄膜。OLED 顯示器可能的顏色、亮度和視角范圍大于傳統LCD顯示器，因為OLED像素直接發光并且不需要背光。因此，OLED顯示器的能耗遠低于傳統LCD顯示器的能耗。此外，OLED可以制造到柔性基板上的事實導致了進一步的應用。

OLED設備，諸如OLED顯示器，可以包括位于被沉積在基板上的兩個電極之間的一個或多個有機材料層。例如，OLED顯示器可以包括以形成具有可單獨激勵的像素的矩陣顯示面板的方式沉積在基板上的層。OLED通常放置在兩個玻璃面板之間，并且玻璃面板的邊緣被密封以將OLED封裝在其中。

OLED器件的制造中遇到了許多挑戰。OLED顯示器包括幾種通常在真空系統中蒸發的材料的堆疊。有機材料通常以由掩模限定的預定圖案沉積。對于 OLED制造，共沉積或共蒸發兩種或更多種材料(例如，主材料和摻雜劑)以導致混合/摻雜層是有益的。必須考慮用于蒸發非常敏感的有機材料的幾種工藝條件。

在處理期間，基板可支撐在載體上，所述載體被配置為保持基板與掩模對準。通過掩模將來自蒸發源的蒸汽朝向基板引導，以在基板上產生圖案化的膜。可以經由一個或多個掩模在基板上沉積一種或多種材料，以在基板上產生小像素，例如用于提供全色顯示。

可以在包括蒸發坩堝的蒸發裝置中蒸發源材料。可以加熱蒸發坩堝的內部體積以蒸發源材料。源材料可以以固體或液體形式布置在蒸發坩堝內，例如作為粉末或作為顆粒。難以長時間確保源材料的預定蒸發速率。此外，典型的源材料對溫度非常敏感，使得如果源材料長時間暴露于高溫，則存在蒸發坩堝中材料分解的風險。

鑒于上述，提供一種確保蒸發材料的高品質沉積的改進蒸發裝置將為有利的，特別是對于OLED器件的制造。具體地，應當在確保長時間的預定蒸發速率的同時降低材料分解的風險。

實用新型內容

鑒于上述，提供了一種用于蒸發源材料的蒸發裝置，一種蒸發源，一種用于在基板上沉積蒸發的源材料的沉積系統，以及一種用于蒸發源材料的方法。

根據一個方面，提供了一種用于蒸發源材料的蒸發裝置。所述蒸發裝置包括蒸發坩堝和支撐布置，所述支撐布置具有多個材料托盤，所述多個材料托盤用于在所述多個材料托盤上布置源材料。所述支撐布置可去除地放置在蒸發坩堝的內部體積中。

在另一實施方式中，所述多個材料托盤可一個在另一個上面地布置在所述支撐布置中。

在又一實施方式中，所述支撐布置可從所述蒸發坩堝的所述內部體積取出，以便在所述多個材料托盤上再填充源材料。

在又一實施方式中，所述多個材料托盤可包括四個或更多個材料托盤。