[實用新型]真空泵用電源裝置及真空泵裝置

有效

• 申請號: 201920989557.0
• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN210397168U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 平田伸幸
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D25/06;H05K5/02;H05K7/20
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 浦彩華;姚開麗

本實用新型提供一種真空泵用電源裝置及真空泵裝置，所述真空泵用電源裝置能夠實現降低電源裝置本體的框體的大型化或電源裝置的成本，所述電源裝置本體設有泵本體的電源部或控制部。電源裝置(20)包括：第一框體(201)，收容泵本體(10)的控制部(211)及電源部(210)；第二框體(202)，以從第一框體(201)突出的方式安裝于第一框體(201)，具有與第一框體(201)的內部空間連通的電路收容空間(202S)；通信電路(220)，收容于電路收容空間(202S)，連接于電源部(210)及控制部(211)的至少一者并且也連接于作為外部裝置的主控制裝置(1000)；及連接器(221、222)，設于第二框體(202)的外周面，用于將通信電路(220)與主控制裝置(1000)連接。

技術領域

本實用新型涉及一種真空泵用電源裝置及真空泵裝置。

背景技術

渦輪分子泵等高真空用真空泵例如用于半導體制造裝置等。這種真空泵中，已知一體地設有進行真空排氣的泵本體與用于驅動控制泵本體的電源裝置的真空泵(例如參照專利文獻1)。

在電源裝置，具備驅動控制泵本體所需要的電源部或馬達驅動部或控制部等，但在將外部裝置連接于電源裝置而在與外部裝置之間進行通信或控制外部裝置時，有時在電源裝置還設有用于與外部裝置連接的外部連接用電路。例如，當設為在與半導體制造裝置的主控制器(main controller)之間進行通信的結構時，在電源裝置設有與主控制器的通信所需要的通信電路。

[現有技術文獻]

[專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2014-043827號公報

實用新型內容

[實用新型所要解決的問題]

但是，當以可收容各種外部連接用電路的方式將電源裝置的框體設計成有余裕的大小時，電源裝置會以必要以上的程度而大型化。而且，在為了抑制電源裝置的大小而制成與需應對的外部連接用電路的大小相應的電源裝置框體時，需要準備與外部連接用電路相應的框體，導致成本上漲(cost up)。

[解決問題的技術手段]

根據本實用新型的優選形態的真空泵用電源裝置包括：第一框體，收容真空泵本體的控制部及電源部；第二框體，以從所述第一框體突出的方式安裝于所述第一框體，具有與所述第一框體的內部空間連通的電路收容空間；外部連接用電路，收容于所述電路收容空間，連接于所述電源部及所述控制部的至少一者并且也連接于外部裝置；及連接器，設于所述第二框體的外周面，用于將所述外部連接用電路與所述外部裝置連接。

進而優選的形態中，所述外部連接用電路具有輸入輸出依據第一通信標準的第一信號的第一通信電路、及輸入輸出依據第二通信標準的第二信號的第二通信電路，所述連接器包含用于對所述外部裝置輸入輸出所述第一信號的第一信號用連接器、及用于對所述外部裝置輸入輸出所述第二信號的第二信號用連接器。

進而優選的形態中，所述外部連接用電路具有放熱零件，所述放熱零件與所述第二框體的內周面熱接觸，將所述放熱零件的熱經由所述第二框體而散放。

進而優選的形態中，所述外部裝置是將所述真空泵本體加熱的加熱器，且所述外部連接用電路包含控制所述加熱器的加熱器控制電路，所述加熱器控制電路將來自所述電源部的電力經由所述連接器而供給至所述加熱器。

進而優選的形態中，所述第一框體是使用鋁合金的鑄造品，所述第二框體是金屬板品。

進而優選的形態中，在所述第一框體的一個側面，形成有將所述第二框體的所述電路收容空間與所述第一框體的所述內部空間連通的開口，所述第二框體以堵塞所述第一框體的所述開口的方式安裝于所述第一框體的所述一個側面，在所述第一框體的所述開口，穿插著將所述第一框體內的所述控制部或所述電源部、與所述第二框體內的所述外部連接用電路連接的電纜。