[實用新型]真空泵用電源裝置及真空泵裝置

有效

• 申請號: 201920989557.0
• 申請日: 2019-06-27
• 公開（公告）號: CN210397168U
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 平田伸幸
• 申請（專利權）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D25/06;H05K5/02;H05K7/20
• 代理公司: 北京派特恩知識產權代理有限公司 11270
• 代理人: 浦彩華;姚開麗

1.一種真空泵用電源裝置，其特征在于，包括：

第一框體，收容真空泵本體的控制部及電源部；

第二框體，以從所述第一框體突出的方式安裝于所述第一框體，具有與所述第一框體的內部空間連通的電路收容空間；

外部連接用電路，收容于所述電路收容空間，連接于所述電源部及所述控制部的至少一者并且也連接于外部裝置；及

連接器，設于所述第二框體的外周面，用于將所述外部連接用電路與所述外部裝置連接。

2.根據權利要求1所述的真空泵用電源裝置，其特征在于，

所述外部連接用電路具有輸入輸出依據第一通信標準的第一信號的第一通信電路、及輸入輸出依據第二通信標準的第二信號的第二通信電路，

所述連接器包含用于對所述外部裝置輸入輸出所述第一信號的第一信號用連接器、及用于對所述外部裝置輸入輸出所述第二信號的第二信號用連接器。

3.根據權利要求1或2所述的真空泵用電源裝置，其特征在于，

所述外部連接用電路具有放熱零件，

所述放熱零件與所述第二框體的內周面熱接觸，將所述放熱零件的熱經由所述第二框體而散放。

4.根據權利要求1或2所述的真空泵用電源裝置，其特征在于，

所述外部裝置是將所述真空泵本體加熱的加熱器，且

所述外部連接用電路包含控制所述加熱器的加熱器控制電路，

所述加熱器控制電路將來自所述電源部的電力經由所述連接器而供給至所述加熱器。

5.根據權利要求1或2所述的真空泵用電源裝置，其特征在于，

所述第一框體是使用鋁合金的鑄造品，所述第二框體是金屬板品。

6.根據權利要求1或2所述的真空泵用電源裝置，其特征在于，

在所述第一框體的一個側面，形成有將所述第二框體的所述電路收容空間與所述第一框體的所述內部空間連通的開口，

所述第二框體以堵塞所述第一框體的所述開口的方式安裝于所述第一框體的所述一個側面，

在所述第一框體的所述開口，穿插著將所述第一框體內的所述控制部或所述電源部、與所述第二框體內的所述外部連接用電路連接的電纜。

7.一種真空泵裝置，其特征在于，包括：

真空泵本體；

根據權利要求1至6中任一項所述的真空泵用電源裝置；及

冷卻構件，將所述真空泵本體及所述真空泵用電源裝置一體地冷卻，

所述第一框體及所述第二框體中至少所述第一框體與所述冷卻構件熱接觸。