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[實用新型]一種蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置有效

專利信息
申請號: 201920980834.1 申請日: 2019-06-26
公開(公告)號: CN210040142U 公開(公告)日: 2020-02-07
發明(設計)人: 麥永業;朱進;劉家樺;葉日銓;薛榮華 申請(專利權)人: 德淮半導體有限公司
主分類號: H01L21/67 分類號: H01L21/67
代理公司: 31313 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 代理人: 張東梅
地址: 223302 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氣體輸送管道 混合閥 氣體流量控制器 氣體安全閥 氣體輸入管 反應腔 串聯 本實用新型 互鎖裝置 氣體輸送 蝕刻機臺
【權利要求書】:

1.一種蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,包括:

第一氣體輸送管道,所述第一氣體輸送管道依次由第一氣體輸入管、第一氣體先級閥、第一氣體流量控制器(MFC)、第一氣體安全閥和第一氣體后級閥串聯構成;

第二氣體輸送管道,所述第二氣體輸送管道依次由第二氣體輸入管、第二氣體先級閥、第二氣體流量控制器(MFC)、第二氣體安全閥和第二氣體后級閥串聯構成;

混合閥,所述第一氣體輸送管道和所述第二氣體輸送管道連接至所述混合閥;以及

反應腔,所述混合閥連接至所述反應腔。

2.如權利要求1所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,所述第一氣體輸送管道為氫氣輸送管道;所述第二氣體輸送管道為氧氣輸送管道。

3.如權利要求1所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,所述第一氣體先級閥、所述第一氣體后級閥、所述第二氣體先級閥、所述第二氣體后級閥為常閉閥;所述第一氣體安全閥、所述第二氣體安全閥為常開閥。

4.如權利要求3所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,所述第一氣體安全閥和所述第二氣體后級閥互為反向閥,當所述第二氣體后級閥開啟時,所述第一氣體安全閥關閉;所述第二氣體安全閥和所述第一氣體后級閥互為反向閥,當所述第一氣體后級閥開啟時,所述第二氣體安全閥關閉。

5.如權利要求4所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,所述第一氣體安全閥和所述第二氣體后級閥接入同一第一控制信號;所述第二氣體安全閥和所述第一氣體后級閥接入同一第二控制信號。

6.如權利要求5所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,所述第一控制信號、所述第二控制信號為氣動信號。

7.如權利要求5所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置,其特征在于,所述第一控制信號、所述第二控制信號為電動信號。

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