[實(shí)用新型]一種蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920980834.1
• 申請(qǐng)日: 2019-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN210040142U
• 公開（公告）日: 2020-02-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 麥永業(yè);朱進(jìn);劉家樺;葉日銓;薛榮華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 31313 上海智晟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 張東梅

1.一種蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，包括：

第一氣體輸送管道，所述第一氣體輸送管道依次由第一氣體輸入管、第一氣體先級(jí)閥、第一氣體流量控制器(MFC)、第一氣體安全閥和第一氣體后級(jí)閥串聯(lián)構(gòu)成；

第二氣體輸送管道，所述第二氣體輸送管道依次由第二氣體輸入管、第二氣體先級(jí)閥、第二氣體流量控制器(MFC)、第二氣體安全閥和第二氣體后級(jí)閥串聯(lián)構(gòu)成；

混合閥，所述第一氣體輸送管道和所述第二氣體輸送管道連接至所述混合閥；以及

反應(yīng)腔，所述混合閥連接至所述反應(yīng)腔。

2.如權(quán)利要求1所述的蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體輸送管道為氫氣輸送管道；所述第二氣體輸送管道為氧氣輸送管道。

3.如權(quán)利要求1所述的蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體先級(jí)閥、所述第一氣體后級(jí)閥、所述第二氣體先級(jí)閥、所述第二氣體后級(jí)閥為常閉閥；所述第一氣體安全閥、所述第二氣體安全閥為常開閥。

4.如權(quán)利要求3所述的蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體安全閥和所述第二氣體后級(jí)閥互為反向閥，當(dāng)所述第二氣體后級(jí)閥開啟時(shí)，所述第一氣體安全閥關(guān)閉；所述第二氣體安全閥和所述第一氣體后級(jí)閥互為反向閥，當(dāng)所述第一氣體后級(jí)閥開啟時(shí)，所述第二氣體安全閥關(guān)閉。

5.如權(quán)利要求4所述的蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體安全閥和所述第二氣體后級(jí)閥接入同一第一控制信號(hào)；所述第二氣體安全閥和所述第一氣體后級(jí)閥接入同一第二控制信號(hào)。

6.如權(quán)利要求5所述的蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一控制信號(hào)、所述第二控制信號(hào)為氣動(dòng)信號(hào)。

7.如權(quán)利要求5所述的蝕刻機(jī)臺(tái)氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一控制信號(hào)、所述第二控制信號(hào)為電動(dòng)信號(hào)。