[實用新型]一種蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置有效
| 申請號： | 201920980834.1 | 申請日： | 2019-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN210040142U | 公開（公告）日： | 2020-02-07 |
| 發明（設計）人： | 麥永業;朱進;劉家樺;葉日銓;薛榮華 | 申請（專利權）人： | 德淮半導體有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 31313 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) | 代理人： | 張東梅 |
| 地址： | 223302 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氣體輸送管道 混合閥 氣體流量控制器 氣體安全閥 氣體輸入管 反應腔 串聯 本實用新型 互鎖裝置 氣體輸送 蝕刻機臺 | ||
1.一種蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，包括：
第一氣體輸送管道，所述第一氣體輸送管道依次由第一氣體輸入管、第一氣體先級閥、第一氣體流量控制器(MFC)、第一氣體安全閥和第一氣體后級閥串聯構成；
第二氣體輸送管道，所述第二氣體輸送管道依次由第二氣體輸入管、第二氣體先級閥、第二氣體流量控制器(MFC)、第二氣體安全閥和第二氣體后級閥串聯構成；
混合閥，所述第一氣體輸送管道和所述第二氣體輸送管道連接至所述混合閥；以及
反應腔，所述混合閥連接至所述反應腔。
2.如權利要求1所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體輸送管道為氫氣輸送管道；所述第二氣體輸送管道為氧氣輸送管道。
3.如權利要求1所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體先級閥、所述第一氣體后級閥、所述第二氣體先級閥、所述第二氣體后級閥為常閉閥；所述第一氣體安全閥、所述第二氣體安全閥為常開閥。
4.如權利要求3所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體安全閥和所述第二氣體后級閥互為反向閥，當所述第二氣體后級閥開啟時，所述第一氣體安全閥關閉；所述第二氣體安全閥和所述第一氣體后級閥互為反向閥，當所述第一氣體后級閥開啟時，所述第二氣體安全閥關閉。
5.如權利要求4所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一氣體安全閥和所述第二氣體后級閥接入同一第一控制信號；所述第二氣體安全閥和所述第一氣體后級閥接入同一第二控制信號。
6.如權利要求5所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一控制信號、所述第二控制信號為氣動信號。
7.如權利要求5所述的蝕刻機臺氣體輸送互鎖裝置，其特征在于，所述第一控制信號、所述第二控制信號為電動信號。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
