[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體制程噴砂保護(hù)治具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920977169.0
• 申請(qǐng)日: 2019-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN210704341U
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周濤;惠朝先
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 四川富樂德科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): B24C9/00
• 分類號(hào): B24C9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體制程噴砂保護(hù)治具，包括基座、安置槽、第一固定環(huán)、第二固定環(huán)、第一固定螺紋桿、第二固定螺紋桿和限位螺母，基座上設(shè)置有安置槽，安置槽中安置有產(chǎn)品本體，基座的上部設(shè)置有第一固定螺紋桿，第一固定螺紋桿上安裝有第一固定環(huán)，基座的中間位置處設(shè)置有內(nèi)圈安置座，內(nèi)圈安置座的上部設(shè)置有第二固定螺紋桿，第二固定螺紋桿上安裝有第二固定環(huán)，第一固定螺紋桿和第二固定螺紋桿上均安裝有限位螺母。本實(shí)用新型通過設(shè)置基座、安置槽、第一固定環(huán)、第二固定環(huán)、第一固定螺紋桿、第二固定螺紋桿和限位螺母，解決了產(chǎn)品放置在噴砂工作臺(tái)上噴砂使用，無需噴砂的部位也容易被噴砂，仍需后續(xù)處理，不便于操作的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制程depo ring噴砂技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種半導(dǎo)體制程噴砂保護(hù)治具。

背景技術(shù)

現(xiàn)階段，快速熱工藝(Rapid Thermal Processing)已應(yīng)用于許多半導(dǎo)體的制程上，例如快速熱氧化(Rapid Thermal Oxidation)、快速熱化學(xué)氣相沉積(Rapid ThermalCVD)，快速熱退火(Rapid Thermal Annealing)等，由此可知，快速熱工藝對(duì)于半導(dǎo)體制程已相當(dāng)?shù)刂匾Ｆ渲邪雽?dǎo)體制程depo ring生產(chǎn)過程中需要對(duì)其進(jìn)行噴砂工藝處理。

但是，現(xiàn)有的技術(shù)具有以下不足：產(chǎn)品直接放置在噴砂工作臺(tái)上噴砂使用，無需噴砂的部位也容易被噴砂，仍需要后續(xù)處理，不便于操作。

實(shí)用新型內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問題

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體制程噴砂保護(hù)治具，解決了產(chǎn)品直接放置在噴砂工作臺(tái)上噴砂使用，無需噴砂的部位也容易被噴砂，仍需要后續(xù)處理，不便于操作的問題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種半導(dǎo)體制程噴砂保護(hù)治具，包括基座、安置槽、第一固定環(huán)、第二固定環(huán)、第一固定螺紋桿、第二固定螺紋桿和限位螺母，所述基座上設(shè)置有安置槽，所述安置槽中安置有產(chǎn)品本體，所述基座的上部設(shè)置有第一固定螺紋桿，所述第一固定螺紋桿上安裝有第一固定環(huán)，所述基座的中間位置處設(shè)置有內(nèi)圈安置座，所述內(nèi)圈安置座的上部設(shè)置有第二固定螺紋桿，所述第二固定螺紋桿上安裝有第二固定環(huán)，所述第一固定螺紋桿和第二固定螺紋桿上均安裝有限位螺母。

優(yōu)選的，所述第一固定環(huán)與基座相契合，所述第一固定環(huán)對(duì)應(yīng)第一固定螺紋桿的位置處設(shè)置有第一穿孔，所述第一穿孔與第一固定螺紋桿相契合。

優(yōu)選的，所述第一固定螺紋桿設(shè)置有四個(gè)，且第一固定螺紋桿呈環(huán)形陣列分布在基座上，所述第一固定螺紋桿與限位螺母螺紋連接。

優(yōu)選的，所述第二固定環(huán)與內(nèi)圈安置座相契合，所述第二固定環(huán)對(duì)應(yīng)第二固定螺紋桿的位置處設(shè)置有第二穿孔，所述第二穿孔與第二固定螺紋桿相契合。

優(yōu)選的，所述第二固定螺紋桿設(shè)置有四個(gè)，且第二固定螺紋桿呈環(huán)形陣列分布在內(nèi)圈安置座上，所述第二固定螺紋桿與限位螺母螺紋連接。

優(yōu)選的，所述產(chǎn)品本體與基座上設(shè)置的安置槽相契合，所述產(chǎn)品本體直接安放在安置槽的內(nèi)部。

(三)有益效果

本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體制程噴砂保護(hù)治具，具備以下有益效果：