[實用新型]一種半導體制程噴砂保護治具

有效

• 申請號: 201920977169.0
• 申請日: 2019-06-26
• 公開（公告）號: CN210704341U
• 公開（公告）日: 2020-06-09
• 發明（設計）人: 周濤;惠朝先
• 申請（專利權）人: 四川富樂德科技發展有限公司
• 主分類號: B24C9/00
• 分類號: B24C9/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種半導體制程噴砂保護治具，包括基座(1)、安置槽(2)、第一固定環(3)、第二固定環(4)、第一固定螺紋桿(5)、第二固定螺紋桿(6)和限位螺母(7)，其特征在于：所述基座(1)上設置有安置槽(2)，所述安置槽(2)中安置有產品本體(11)，所述基座(1)的上部設置有第一固定螺紋桿(5)，所述第一固定螺紋桿(5)上安裝有第一固定環(3)，所述基座(1)的中間位置處設置有內圈安置座(8)，所述內圈安置座(8)的上部設置有第二固定螺紋桿(6)，所述第二固定螺紋桿(6)上安裝有第二固定環(4)，所述第一固定螺紋桿(5)和第二固定螺紋桿(6)上均安裝有限位螺母(7)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體制程噴砂保護治具，其特征在于：所述第一固定環(3)與基座(1)相契合，所述第一固定環(3)對應第一固定螺紋桿(5)的位置處設置有第一穿孔(9)，所述第一穿孔(9)與第一固定螺紋桿(5)相契合。

3.根據權利要求2所述的一種半導體制程噴砂保護治具，其特征在于：所述第一固定螺紋桿(5)設置有四個，且第一固定螺紋桿(5)呈環形陣列分布在基座(1)上，所述第一固定螺紋桿(5)與限位螺母(7)螺紋連接。

4.根據權利要求1所述的一種半導體制程噴砂保護治具，其特征在于：所述第二固定環(4)與內圈安置座(8)相契合，所述第二固定環(4)對應第二固定螺紋桿(6)的位置處設置有第二穿孔(10)，所述第二穿孔(10)與第二固定螺紋桿(6)相契合。

5.根據權利要求4所述的一種半導體制程噴砂保護治具，其特征在于：所述第二固定螺紋桿(6)設置有四個，且第二固定螺紋桿(6)呈環形陣列分布在內圈安置座(8)上，所述第二固定螺紋桿(6)與限位螺母(7)螺紋連接。

6.根據權利要求1所述的一種半導體制程噴砂保護治具，其特征在于：所述產品本體(11)與基座(1)上設置的安置槽(2)相契合，所述產品本體(11)直接安放在安置槽(2)的內部。