[實用新型]一種真空鍍膜設備

有效

• 申請號: 201920971993.5
• 申請日: 2019-06-25
• 公開（公告）號: CN210765477U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 曹京星;楊娜;朱建華
• 申請（專利權）人: 君泰創新(北京)科技有限公司
• 主分類號: C23C14/22
• 分類號: C23C14/22;C23C16/46
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 郭金鑫

本實用新型公開了一種真空鍍膜設備，包括真空腔、冷卻機構和驅動機構；所述冷卻機構包括依次連接的冷卻部、中間部和連接部；所述冷卻部位于所述真空腔內；所述中間部穿過所述真空腔，并與所述真空腔密封配合；所述驅動機構與所述連接部相連接，并帶動所述冷卻機構直線運動。根據本實用新型提供的真空鍍膜設備，通過驅動機構帶動冷卻機構直線運動，不僅可以通過冷卻部直接對基片進行降溫，而且可以調整冷卻部與基片之間的距離，選擇最優的冷卻位置，提升了冷卻效率，進而提升了太陽能電池的生產效率。

技術領域

本實用新型涉及光伏生產設備技術領域，具體涉及一種真空鍍膜設備。

背景技術

在太陽能電池制造過程中，需要對基片進行真空鍍膜，真空鍍膜工藝需要保持一定的高溫溫度。在鍍膜完成將基片返回大氣環境前，需要將基片降溫后再取出，以免因高溫使電池薄膜在大氣環境下發生氧化等反應，并且防止因過高溫度產生的設備和人員的燙傷。

現有的一些鍍膜設備中，有些設備雖然帶有冷卻結構，但是冷卻結構一般為設置在真空腔外或真空腔內壁上的固定式結構，無法調整冷卻結構與基片的距離，需要先將真空腔內整體冷卻后再對基片進行降溫，不能夠對基片直接進行冷卻，冷卻效率低，冷卻過程需要占用大量時間，影響生產效率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種真空鍍膜設備，以解決現有的真空鍍膜設備不能夠對基片直接進行冷卻，冷卻效率低的問題。

為實現上述目的，本實用新型提出的技術方案如下：

一種真空鍍膜設備，包括真空腔、冷卻機構和驅動機構；所述冷卻機構包括依次連接的冷卻部、中間部和連接部；所述冷卻部位于所述真空腔內；所述中間部穿過所述真空腔，并與所述真空腔密封配合；所述驅動機構與所述連接部相連接，并帶動所述冷卻機構直線運動。

根據本實用新型提供的真空鍍膜設備，通過驅動機構帶動冷卻機構直線運動，不僅可以通過冷卻部直接對基片進行降溫，而且可以調整冷卻部與基片之間的距離，選擇最優的冷卻位置，提升了冷卻效率，進而提升了太陽能電池的生產效率。

另外，根據本實用新型上述實施例的真空鍍膜設備，還可以具有如下附加的技術特征：

根據本實用新型的一個示例，所述冷卻部為水冷結構。

根據本實用新型的一個示例，所述水冷結構包括水冷板。

根據本實用新型的一個示例，所述中間部內部安裝有進水管和出水管；所述進水管一端與所述水冷板進水端相連接，另一端穿過所述連接部并位于所述冷卻機構外；所述出水管一端與所述出水端相連接，另一端穿過所述連接部并位于所述冷卻機構外。

根據本實用新型的一個示例，還包括溫度檢測裝置和水溫調節裝置；所述溫度檢測裝置用于檢測待降溫物體的溫度信息；所述水溫調節裝置與所述溫度檢測裝置相連接，所述水溫調節裝置用于調整所述水冷板內的水體溫度。

根據本實用新型的一個示例，還包括套設在所述中間部上的密封管；所述密封管可沿其軸向伸縮；所述密封管一端與所述真空腔外壁密封連接，另一端與所述連接部密封連接。

根據本實用新型的一個示例，所述密封管為波紋管。

根據本實用新型的一個示例，還包括導向機構；所述導向機構與所述連接部相連接，以使所述連接部在所述驅動機構的帶動下沿所述導向機構的預設方向運動。

根據本實用新型的一個示例，所述導向機構包括安裝架、導向軸和直線軸承；所述直線軸承套設在所述導向軸上，并與所述連接部相連接；所述導向軸的相對兩端均通過第一軸座與所述安裝架相連接。

根據本實用新型的一個示例，所述驅動機構包括絲桿和電機，所述絲桿包括桿體部和安裝在所述桿體部上的運動部；所述桿體部與所述電機的輸出軸相連接；所述運動部與所述連接部連接，并可沿所述桿體部的長度方向運動。