[實(shí)用新型]一種真空鍍膜設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920971993.5
• 申請(qǐng)日: 2019-06-25
• 公開（公告）號(hào): CN210765477U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹京星;楊娜;朱建華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 君泰創(chuàng)新(北京)科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/22
• 分類號(hào): C23C14/22;C23C16/46
• 代理公司: 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11662
• 代理人: 郭金鑫

1.一種真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，包括:

真空腔(100)；

冷卻機(jī)構(gòu)(200):所述冷卻機(jī)構(gòu)(200)包括依次連接的冷卻部(210)、中間部(220)和連接部(230)；所述冷卻部(210)位于所述真空腔(100)內(nèi)；所述中間部(220)穿過所述真空腔(100)，并與所述真空腔(100)密封配合；

驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(300):所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(300)與所述連接部(230)相連接，并帶動(dòng)所述冷卻機(jī)構(gòu)(200)直線運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述冷卻部(210)為水冷結(jié)構(gòu)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述水冷結(jié)構(gòu)包括水冷板(211)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述中間部(220)內(nèi)部安裝有進(jìn)水管(215)和出水管(216)；所述進(jìn)水管(215)一端與所述水冷板(211)的進(jìn)水端(213)相連接，另一端穿過所述連接部(230)并位于所述冷卻機(jī)構(gòu)(200)外；所述出水管(216)一端與所述水冷板(211)的出水端(214)相連接，另一端穿過所述連接部(230)并位于所述冷卻機(jī)構(gòu)(200)外。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，還包括溫度檢測裝置和水溫調(diào)節(jié)裝置；所述溫度檢測裝置用于檢測待降溫物體的溫度信息；所述水溫調(diào)節(jié)裝置與所述溫度檢測裝置相連接，所述水溫調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)整所述水冷板(211)內(nèi)的水體溫度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，還包括套設(shè)在所述中間部(220)上的密封管(400)；所述密封管(400)可沿其軸向伸縮；所述密封管(400)一端與所述真空腔(100)外壁密封連接，另一端與所述連接部(230)密封連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述密封管(400)為波紋管。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，還包括導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(500)；所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(500)與所述連接部(230)相連接，以使所述連接部(230)在所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(300)的帶動(dòng)下沿所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(500)的預(yù)設(shè)方向運(yùn)動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述導(dǎo)向機(jī)構(gòu)(500)包括安裝架(510)、導(dǎo)向軸(520)和直線軸承(530)；所述直線軸承(530)套設(shè)在所述導(dǎo)向軸(520)上，并與所述連接部(230)相連接；所述導(dǎo)向軸(520)的相對(duì)兩端均通過第一軸座(600)與所述安裝架(510)相連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(300)包括絲桿(310)和電機(jī)(320)，所述絲桿(310)包括桿體部(311)和安裝在所述桿體部(311)上的運(yùn)動(dòng)部(312)；所述桿體部(311)與所述電機(jī)(320)的輸出軸相連接；所述運(yùn)動(dòng)部(312)與所述連接部(230)相連接，并可沿所述桿體部(311)的長度方向運(yùn)動(dòng)。