[實(shí)用新型]一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920966522.5
• 申請(qǐng)日: 2019-06-26
• 公開（公告）號(hào): CN210378997U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李丙科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無錫松煜科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677;H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 北京聯(lián)瑞聯(lián)豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

1.一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，包括推拉舟底板(1)、連接板(2)、水平固定板(4)、下夾板(5)、上夾板(13)、架臺(tái)底板(16)以及方管(11)，其特征在于：所述連接板(2)設(shè)置在推拉舟底板(1)一側(cè)表面，所述水平固定板(4)焊接固定在連接板(2)底端表面上，所述推拉舟底板(1)一側(cè)表面下部設(shè)置調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件包括支撐頂塊(14)以及第一定位螺栓(3)，所述支撐頂塊(14)焊接固定在推拉舟底板(1)一側(cè)表面下部，所述支撐頂塊(14)中部設(shè)置第一調(diào)節(jié)螺桿，所述連接板(2)一側(cè)表面上安裝第一定位螺栓(3)，且連接板(2)通過第一定位螺栓(3)與推拉舟底板(1)固定連接，所述下夾板(5)設(shè)置在架臺(tái)底板(16)上側(cè)面上，所述上夾板(13)設(shè)置在上夾板(13)上側(cè)，且上夾板(13)一側(cè)通過高度調(diào)節(jié)組件與下夾板(5)一側(cè)相連接，所述上夾板(13)另一側(cè)通過壓緊組件與下夾板(5)另一側(cè)相連接，所述架臺(tái)底板(16)固定在水平固定板(4)上側(cè)面上，所述下夾板(5)與下夾板(5)之間的腔體內(nèi)安裝方管(11)，所述上夾板(13)一側(cè)表面安裝角度調(diào)節(jié)組件，且角度調(diào)節(jié)組件一端連接密封門(23)，所述角度調(diào)節(jié)組件包括套管(12)、固定球頭壓座(24)、彈簧(25)、挑桿(26)以及支撐座(27)，所述挑桿(26)安裝在套管(12)內(nèi)，且挑桿(26)一端活動(dòng)卡接在固定球頭壓座(24)內(nèi)，所述套管(12)一端固定連接在支撐座(27)一側(cè)表面，所述固定球頭壓座(24)通過螺釘固定連接在密封門(23)一側(cè)表面，所述挑桿(26)外側(cè)面上套裝彈簧(25)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述支撐頂塊(14)中部開設(shè)螺紋孔，所述螺紋孔內(nèi)通過螺紋連接第一調(diào)節(jié)螺桿，所述第一調(diào)節(jié)螺桿上端與連接板(2)下側(cè)貼合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述連接板(2)一側(cè)通過第二定位螺栓(15)與推拉舟底板(1)相連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述水平固定板(4)一側(cè)表面依次安裝第一調(diào)節(jié)螺栓(7)、第二調(diào)節(jié)螺栓(8)以及第三調(diào)節(jié)螺栓(9)，所述第一調(diào)節(jié)螺栓(7)與第三調(diào)節(jié)螺栓(9)對(duì)稱設(shè)置在第二調(diào)節(jié)螺栓(8)兩側(cè)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述高度調(diào)節(jié)組件包括方形導(dǎo)柱(6)、第二調(diào)節(jié)螺桿(18)以及后支撐塊(19)，所述方形導(dǎo)柱(6)固定連接在架臺(tái)底板(16)上端面一側(cè)，所述方形導(dǎo)柱(6)中部安裝第二調(diào)節(jié)螺桿(18)，且第二調(diào)節(jié)螺桿(18)上端貫穿后支撐塊(19)，所述后支撐塊(19)通過螺釘與上夾板(13)固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述壓緊組件包括調(diào)節(jié)塊(10)、導(dǎo)向螺母(20)、調(diào)節(jié)柱(21)、壓板(17)以及轉(zhuǎn)軸(31)，所述調(diào)節(jié)塊(10)設(shè)置在上夾板(13)一側(cè)表面，所述導(dǎo)向螺母(20)鑲嵌在調(diào)節(jié)塊(10)底端表面上，所述調(diào)節(jié)柱(21)貫穿連接在架臺(tái)底板(16)一側(cè)表面，且調(diào)節(jié)柱(21)上端通過螺紋與導(dǎo)向螺母(20)連接，所述壓板(17)位于上夾板(13)上側(cè)，且壓板(17)通過轉(zhuǎn)軸(31)與調(diào)節(jié)塊(10)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述上夾板(13)中部安裝蓋板(28)，所述蓋板(28)下端安裝密封板(29)，所述密封板(29)中部通過螺釘與方管(11)固定連接，所述密封板(29)兩側(cè)通過O型密封圈(30)與方管(11)表面貼合。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)軸(31)通過深溝球軸承(32)與調(diào)節(jié)塊(10)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述深溝球軸承(32)外側(cè)的轉(zhuǎn)軸(31)上套接軸用彈性擋圈(33)，所述調(diào)節(jié)塊(10)一側(cè)面上固定堵頭(34)，所述堵頭(34)一側(cè)面上開設(shè)沉頭孔，所述調(diào)節(jié)塊(10)一側(cè)面上開設(shè)螺紋孔，所述沉頭孔內(nèi)安裝螺釘，所述螺釘一端嚙合在螺紋孔內(nèi)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片加工用推拉舟調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述方管(11)一端通過波紋管(22)與密封門(23)一端固定連接。