[實用新型]分配裝置及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201920961346.6
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN210765479U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 李強;徐義
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 王衛忠

涉及太陽能電池技術領域，提供一種分配裝置及蒸鍍裝置，分配裝置包括進氣管以及分配管，所述進氣管一端接通至蒸發源，所述進氣管另一端與所述分配管連接；所述分配管包括與所述進氣管連接的進氣端，以及遠離所述進氣管的封口端；所述分配管為螺旋結構，且由進氣端向封口端的外徑呈逐步擴大；所述分配管上間隔地開設有多個出氣孔。本實施例中分配裝置，由蒸發源至被加工面之間采用漸開式螺旋管這種平滑過渡的布管送氣方式，可以確保被加工面的單位面積上對應的出氣孔分布均勻，從而提高蒸鍍加工面的均勻性，提高成品率。

技術領域

本實用新型涉及太陽能電池技術領域，特別涉及一種分配裝置及蒸鍍裝置。

背景技術

隨著科技的發展，銅銦鎵硒(簡稱：CIGS)太陽能電池板的應用越來越廣泛，CIGS太陽能電池板包括CIGS膜層，且通常使用蒸鍍裝置來制備CIGS膜層。

蒸鍍裝置包括蒸鍍腔、分配管、金屬源蒸發源以及硒源蒸發源。在制備GIGS膜層的過程中，需要將金屬源放入金屬源蒸發源、硒源放入硒源蒸發源，并將基板以及該金屬源蒸發源和硒源蒸發源放入蒸鍍腔內，使得金屬源蒸發源以及硒源蒸發源均正對基板，分配管與硒源蒸發源連通。之后加熱金屬源蒸發源，以使得金屬源熔化后向基板輻射金屬粒子，并加熱硒源蒸發源，以使得硒源蒸發出硒蒸汽，該硒蒸汽會進入分配管，并經分配管分配后到達基板，以使得基板上的金屬粒子以及硒蒸汽反應形成GIGS膜層。

在真空蒸鍍設備中，為了提高蒸發源擴散的均勻性，會采用一些輔助擴散的開孔管狀結構，這類管狀結構的裝置被稱作分配器。這類分配器再加工難度大，需要調整蒸發源均勻性時，很難再開孔或封堵孔位。現設備中常見的分配器結構較簡單，一般為豎直與水平的管路連接，然后在水平管路上開孔，用于蒸發物質的擴散，受限于水平管路的形狀，擴散范圍與擴散角度固定，導致大范圍加工時，均勻性不佳，被加工鍍件上的鍍層呈現出一種中間向兩側逐漸變薄的扇形分布。

另外一方面，現有分配裝置一般采用耐腐蝕/高溫的石英或高分子陶瓷材質。此類材質的耐受性較好，但缺點在于易碎且在溫度急劇變化時容易發生應力破損。

實用新型內容

為解決現有技術中蒸發源分配裝置均勻性不佳的問題，本實用新型的一個主要目的在于，提供一種擴散均勻性更好的分配裝置及蒸鍍裝置。

為實現上述實用新型目的，本實用新型采用如下技術方案：

根據本實用新型的一個方面，提供了一種分配裝置，包括進氣管以及分配管，所述進氣管一端接通至蒸發源，所述進氣管另一端與所述分配管連接；所述分配管包括與所述進氣管連接的進氣端，以及遠離所述進氣管的封口端；所述分配管為螺旋結構，該螺旋結構的外徑由進氣端向封口端呈逐步擴大；所述分配管上間隔地開設有多個出氣孔。

由上述技術方案可知，本實用新型的分配裝置及蒸鍍裝置的優點和積極效果在于：

相比于原有分配裝置，本申請實施例中分配裝置采用漸開式螺旋管進行氣體分配，由蒸發源至被加工面之間采用漸開式螺旋管這種平滑過渡的布管送氣方式，可以確保被加工面的單位面積上對應的出氣孔分布均勻，從而提高蒸鍍加工面的均勻性，提高成品率。

附圖說明

通過結合附圖考慮以下對本實用新型的優選實施例的詳細說明，本實用新型的各種目標、特征和優點將變得更加顯而易見。附圖僅為本實用新型的示范性圖解，并非一定是按比例繪制。在附圖中，同樣的附圖標記始終表示相同或類似的部件。其中：

圖1為本實用新型實施例提供的分配裝置的立體結構示意圖；

圖2為本實用新型實施例提供的分配裝置的側視結構示意圖；

圖3為本實用新型實施例提供的分配裝置的俯視結構示意圖；

圖4為本實用新型實施例提供的分配裝置的使用狀態側視圖。

具體實施方式