[實用新型]分配裝置及蒸鍍裝置

有效

• 申請號: 201920961346.6
• 申請日: 2019-06-24
• 公開（公告）號: CN210765479U
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 李強;徐義
• 申請（專利權）人: 北京鉑陽頂榮光伏科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24
• 代理公司: 北京華夏泰和知識產權代理有限公司 11662
• 代理人: 王衛忠

1.一種分配裝置(1)，其特征在于，包括進氣管(11)以及分配管(12)，所述進氣管(11)一端接通至蒸發源，所述進氣管(11)另一端與所述分配管(12)連接；

所述分配管(12)包括與所述進氣管(11)連接的進氣端(121)，以及遠離所述進氣管(11)的封口端(122)；所述分配管(12)為螺旋結構，該螺旋結構的外徑由進氣端(121)向封口端(122)呈逐步擴大；所述分配管(12)上間隔地開設有多個出氣孔(123)。

2.如權利要求1所述的分配裝置，其特征在于，所述分配管(12)的螺旋結構外形呈倒圓錐體。

3.如權利要求2所述的分配裝置，其特征在于，所述倒圓錐體的錐度為30度至60度。

4.如權利要求2所述的分配裝置，其特征在于，所述倒圓錐體的錐度為45度。

5.如權利要求1所述的分配裝置，其特征在于，所述分配管(12)的開孔率由進氣端(121)向封口端(122)逐步增大，或者所述分配管(12)由進氣端(121)向封口端(122)為一致的開孔率。

6.如權利要求1所述的分配裝置，其特征在于，所述分配管(12)以及/或者進氣管(11)的材質為金屬材料。

7.如權利要求1所述的分配裝置，其特征在于，所述分配管(12)以及/或者進氣管(11)的材質為鈦、鉬、鈦合金或鉬合金。

8.如權利要求1至7任一項所述的分配裝置，其特征在于，所述分配管(12)以及/或者進氣管(11)材質為耐高溫金屬材料，表面成型有耐硒化材料涂層或耐硒化材料鍍層。

9.如權利要求8所述的分配裝置，其特征在于，所述耐硒化材料涂層或耐硒化材料鍍層為鈦、鉬、鈦合金或鉬合金。

10.一種蒸鍍裝置，其特征在于，所述蒸鍍裝置包括蒸鍍腔、設置于所述蒸鍍腔內的一個或多個如權利要求1至9任一項所述的分配裝置。