[實(shí)用新型]一種半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻裝置霧化器部件專用清洗支架

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920953913.3
• 申請(qǐng)日: 2019-06-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210160126U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 朱光宇;賀賢漢;李泓波;張正偉;王松朋;陳智慧
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 富樂(lè)德科技發(fā)展（大連）有限公司
• 主分類號(hào): B08B13/00
• 分類號(hào): B08B13/00
• 代理公司: 大連智高專利事務(wù)所(特殊普通合伙) 21235
• 代理人: 蓋小靜

一種半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻裝置霧化器部件專用清洗支架，屬于蝕刻裝置清洗治具領(lǐng)域。支撐板A一側(cè)與底板A垂直連接，支撐板A另一側(cè)設(shè)置有V型槽A，V型槽A與定位槽A相連，定位槽A兩側(cè)分別設(shè)置卡槽A；底板B上依次垂直設(shè)置支撐板B、支撐板C和支撐板D，支撐板B一側(cè)設(shè)有V型槽B，支撐板B上還設(shè)有定位孔，支撐板C一側(cè)設(shè)置有V型槽C，V型槽C與定位槽B相連，定位槽B兩側(cè)分別設(shè)置卡槽B，支撐板D一側(cè)設(shè)有V型槽D，當(dāng)支架A和支架B相連時(shí)，支撐板A一面與支撐板C一面貼合，定位槽A和定位槽B相通，卡槽B和對(duì)應(yīng)的卡槽A通過(guò)鍵連接。本實(shí)用新型可以提高支撐霧化器部件的穩(wěn)定性，不再需要人工支撐，操作簡(jiǎn)單方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及蝕刻裝置清洗治具領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻裝置霧化器部件專用清洗支架。

背景技術(shù)

目前在對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻裝置霧化器部件進(jìn)行洗凈再生工藝中，需要進(jìn)行對(duì)霧化器部件的內(nèi)部進(jìn)行酸洗堿洗，由于霧化器部件是不銹鋼圓筒狀，整體重量比較沉，并且霧化器部件兩端不是平面且不耐酸堿，所以需要用耐酸堿膠帶進(jìn)行保護(hù)，在清洗過(guò)程中，需要先將部品水平放置，進(jìn)行沖酸作業(yè)，待幾分鐘后，需要將部品垂直放置，進(jìn)行沖減作業(yè)，在此過(guò)程中由于部品重量大，結(jié)構(gòu)為筒狀，所以無(wú)論水平放置還是垂直放置都需要操作者帶耐酸堿手套進(jìn)行支撐，費(fèi)時(shí)費(fèi)力，由于是進(jìn)行酸堿沖洗，作業(yè)危險(xiǎn)性大，每次支撐的平穩(wěn)性不一致容易將霧化器部品造成磕傷，造成產(chǎn)品的不良。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決現(xiàn)有霧化器部件洗凈作業(yè)時(shí)需要人工支撐導(dǎo)致的危險(xiǎn)性大并且容易造成不良品的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻裝置霧化器部件專用清洗支架。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：一種半導(dǎo)體設(shè)備蝕刻裝置霧化器部件專用清洗支架，包括支架A和支架B；所述支架A包括底板A和支撐板A，支撐板A一側(cè)與底板A垂直連接，支撐板A另一側(cè)設(shè)置有V型槽A，V型槽A與定位槽A相連，定位槽A兩側(cè)分別設(shè)置卡槽A；所述支架B的底板B上依次垂直設(shè)置支撐板B、支撐板C和支撐板D，支撐板B一側(cè)設(shè)有V型槽B，支撐板B上還設(shè)有定位孔，支撐板C一側(cè)設(shè)置有V型槽C，V型槽C與定位槽B相連，定位槽B兩側(cè)分別設(shè)置卡槽B，支撐板D一側(cè)設(shè)有V型槽D，當(dāng)支架A和支架B相連時(shí)，支撐板A一面與支撐板C一面貼合，定位槽A和定位槽B相通，卡槽B和對(duì)應(yīng)的卡槽A通過(guò)鍵連接。

進(jìn)一步的，所述底板B上設(shè)置有用于安裝支撐板B、支撐板C和支撐板D的安裝槽，支撐板B、支撐板C和支撐板D通過(guò)螺栓與底板B安裝；底板A上設(shè)置有用于安裝支撐板A的安裝槽，底板A與支撐板A通過(guò)螺栓安裝。

進(jìn)一步的，所述V型槽C和V型槽D的斜面位置相對(duì)應(yīng)。

本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型可以提高支撐霧化器部件的穩(wěn)定性，不再需要人工支撐，操作簡(jiǎn)單方便。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型支架B的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型支架A的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型沖酸作業(yè)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型沖酸作業(yè)時(shí)的俯視圖；

圖5為本實(shí)用新型沖減作業(yè)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型沖減作業(yè)時(shí)的主視圖。

圖中1.底板B，2.支撐板B，3.定位孔，4.V型槽B，5.支撐板C，6.卡槽B，7.定位槽B，8.V型槽C，9.支撐板D，10.V型槽D，11.底板A，12.支撐板A，13.定位槽A，14.卡槽A，15.V型槽A，16.霧化器部件。

具體實(shí)施方式