[實用新型]芯片表面清潔模組

有效

• 申請號: 201920946368.5
• 申請日: 2019-06-23
• 公開（公告）號: CN210187788U
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 馮文燦;張華
• 申請（專利權）人: 東莞廣達智能科技有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳華奇信諾專利代理事務所(特殊普通合伙) 44328
• 代理人: 范亮

本實用新型涉及自動化清潔設備技術領域，尤其是指一種芯片表面清潔模組，所述機架固定有安裝板、連接安裝板的安裝底座和裝設于安裝板驅動安裝底座靠近或遠離清潔機械手的第二驅動裝置，該安裝底座裝設有潔具安裝臺、環形布設于潔具安裝臺的若干個卡接槽和驅動潔具安裝臺轉動的第三驅動裝置，所述機架裝設有位于清潔機械手上方的視覺檢測裝置，所述第一驅動裝置和清潔機械手均裝設于安裝板，本套模組自動化程度高，可實時檢測需清潔產品表面與清潔機械手的距離，實現靈活、高效高質量的清潔效果。

技術領域

本實用新型涉及自動化清潔設備技術領域，尤其是指一種芯片表面清潔模組。

背景技術

CMOS中文學名為互補金屬氧化物半導體，它本是計算機系統內一種重要的芯片，保存了系統引導最基本的資料。CMOS的制造技術和一般計算機芯片沒什么差別，主要是利用硅和鍺這兩種元素所做成的半導體，使其在CMOS上共存著帶N（帶-電）和P（帶+電）級的半導體，這兩個互補效應所產生的電流即可被處理芯片記錄和解讀成影像。后來發現CMOS經過加工也可以作為數碼攝影中的圖像傳感器，CMOS傳感器也可細分為被動式像素傳感器與主動式像素傳感器。

CMOS芯片的生產工藝流程中，有對CMOS芯片的表面進行清潔處理的工序，而目前市場上仍有大部分廠家使用人工清潔，人工手持擦拭的布塊進行逐個擦拭，但該類型的芯片產品較為小型而其需擦拭的表面部分則更加小，使用手工擦拭難以擦拭干凈，且人工操作容易出現漏擦、效率低以及容易造成二次臟污的情況發生。

發明內容

本實用新型要解決的技術問題是提供一種自動化程度高，可實時檢測需清潔產品表面與清潔機械手的距離，實現靈活、高效高質量的清潔效果的芯片表面清潔模組。

為了解決上述技術問題，本實用新型采用如下技術方案：一種芯片表面清潔模組，包括機架、裝設于機架的清潔機械手和驅動清潔機械手上下運動的第一驅動裝置，所述機架固定有安裝板、連接安裝板的安裝底座和裝設于安裝板驅動安裝底座靠近或遠離清潔機械手的第二驅動裝置，該安裝底座裝設有潔具安裝臺、環形布設于潔具安裝臺的若干個卡接槽和驅動潔具安裝臺轉動的第三驅動裝置，所述機架裝設有位于清潔機械手上方的視覺檢測裝置，所述第一驅動裝置和清潔機械手均裝設于安裝板。

優選的，所述潔具安裝臺設置有第一卡接層和第二卡接層，若干個卡接槽分別環形布設于第一卡接層和第二卡接層的外沿處。

優選的，若干個卡接槽均從第一卡接層和第二卡接層的側壁向內延伸設置，且第一卡接層的卡接槽和第二卡接層的卡接槽均一一對應設置。

優選的，所述機架固定有承載板和貫穿承載板設置的導通孔，該承載板水平布設于清潔機械手的上方，所述視覺檢測裝置裝設于承載板與導通孔對齊設置，所述機架固定有視覺折射裝置，該視覺折射裝置位于導通孔的正下方。

優選的，所述清潔機械手包括第一夾爪、第二夾爪和驅動第一夾爪和第二夾爪相互靠近或遠離的第四驅動裝置。

本實用新型的有益效果在于：提供了一種芯片表面清潔模組，在實際的生產活動中，該套清潔模組是整套清潔設備中的一部分，所述的機架則是設備中的殼體支架部分，雖附圖中并未顯示，但根據該套模組以示的結構布局，機架部分可靈活設計或直接套用現有的殼體支架來配套。該套模組可直接與流水線結合作業，自動化將產品傳輸至清潔機械手的下方，待視覺檢測裝置將清潔機械手與需清潔產品表面的距離檢測完成后，便會驅動清潔機械手抓取卡接在潔具安裝臺上的清潔棒向下移動，直至清潔棒抵接需清潔產品的表面，完成清潔，清潔機械手抓取完一根清潔棒后，潔具安裝臺會自動后退然后自轉換取下一個清潔棒與清潔機械手對齊，實現快速抓取清潔效果，視覺檢測裝置的布設，使其可靈活應對傳輸過來高度不一致的產品，更好的配合流水線生產，防止抵接到產品表面的力度過大或過小，造成損壞產品或清潔質量差的情況發生。