[實用新型]芯片表面清潔模組

有效

• 申請號: 201920946368.5
• 申請日: 2019-06-23
• 公開（公告）號: CN210187788U
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 馮文燦;張華
• 申請（專利權）人: 東莞廣達智能科技有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B13/00
• 代理公司: 深圳華奇信諾專利代理事務所(特殊普通合伙) 44328
• 代理人: 范亮

1.芯片表面清潔模組，包括機架、裝設于機架的清潔機械手（1）和驅動清潔機械手（1）上下運動的第一驅動裝置（11），其特征在于：所述機架固定有安裝板（2）、連接安裝板（2）的安裝底座（3）和裝設于安裝板（2）驅動安裝底座（3）靠近或遠離清潔機械手（1）的第二驅動裝置（31），該安裝底座（3）裝設有潔具安裝臺（4）、環形布設于潔具安裝臺（4）的若干個卡接槽（41）和驅動潔具安裝臺（4）轉動的第三驅動裝置（42），所述機架裝設有位于清潔機械手（1）上方的視覺檢測裝置（5），所述第一驅動裝置（11）和清潔機械手（1）均裝設于安裝板（2）。

2.根據權利要求1所述的芯片表面清潔模組，其特征在于：所述潔具安裝臺（4）設置有第一卡接層（43）和第二卡接層（44），若干個卡接槽（41）分別環形布設于第一卡接層（43）和第二卡接層（44）的外沿處。

3.根據權利要求2所述的芯片表面清潔模組，其特征在于：若干個卡接槽（41）均從第一卡接層（43）和第二卡接層（44）的側壁向內延伸設置，且第一卡接層（43）的卡接槽（41）和第二卡接層（44）的卡接槽（41）均一一對應設置。

4.根據權利要求1所述的芯片表面清潔模組，其特征在于：所述機架固定有承載板（6）和貫穿承載板（6）設置的導通孔（61），該承載板（6）水平布設于清潔機械手（1）的上方，所述視覺檢測裝置（5）裝設于承載板（6）與導通孔（61）對齊設置，所述機架固定有視覺折射裝置（7），該視覺折射裝置（7）位于導通孔（61）的正下方。

5.根據權利要求1所述的芯片表面清潔模組，其特征在于：所述清潔機械手（1）包括第一夾爪（12）、第二夾爪（13）和驅動第一夾爪（12）和第二夾爪（13）相互靠近或遠離的第四驅動裝置（14）。