[實用新型]一種超純砷烷的分析裝置

有效

• 申請號: 201920938944.1
• 申請日: 2019-06-21
• 公開（公告）號: CN210376231U
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 張興
• 申請（專利權）人: 海口美麗海洋化工有限公司
• 主分類號: G01N27/68
• 分類號: G01N27/68
• 代理公司: 東莞市匯橙知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 44571
• 代理人: 黎敏強;朱明月

本實用新型公開了一種超純砷烷的分析裝置，包括定量筒，定量筒頂端的中部固定設有螺紋連接頭，第一氣體管道的一端螺紋連接有預分析柱，預分析柱的一端螺紋連接有第三氣體管道，第三氣體管道的一端螺紋連接有DID檢測儀，DID檢測儀的一側螺紋連接有第四氣體管道，第四氣體管道和第二氣體管道之間螺紋連接有第一分析柱和第二分析柱，本實用新型的有益效果是通過設有的DID檢測儀，利用DID檢測儀內部的氦離子化檢測器分析雜質氣體，結果穩定，能在很短的時間內給出平衡的分析值、定量準確、檢測限低及分析周期短，通過設有的分子泵機組、法蘭件、防逆管道和隔膜閥，便于采用負壓進氣的方式，提高了操作的安全性。

技術領域

本實用新型涉及一種分析裝置，特別涉及一種超純砷烷的分析裝置。

背景技術

砷烷用于半導體工業中外延硅的“N”型摻雜、硅中“N”型擴散、離子注入、生長砷化鎵、磷砷化鎵以及與Ⅲ/V族元素形成的化合物半導體。另外，砷烷還用作標準氣、校正氣及標準混合氣，因此，積極進行超純砷烷氣體的開發研究對促進電子工業及其它有關技術的發展有著十分重要的意義。與此同時，對超純砷烷檢測技術的發展也帶來了更高的要求。

在超純砷烷分析中，難點主要體現在安全性上，因為砷烷的劇毒性質，所以在分析方法的設定上除了考慮分析的準確性外還要考慮安全性，因此提供一種超純砷烷的分析裝置。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種超純砷烷的分析裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種超純砷烷的分析裝置，包括定量筒，所述定量筒頂端的中部固定設有螺紋連接頭，所述定量筒的一端分別螺紋連接有第一氣體管道和第二氣體管道，所述第一氣體管道的一端螺紋連接有預分析柱，所述預分析柱的一端螺紋連接有第三氣體管道，所述第三氣體管道的一端螺紋連接有DID檢測儀，所述DID檢測儀的一側螺紋連接有第四氣體管道，所述第四氣體管道和第二氣體管道之間螺紋連接有第一分析柱和第二分析柱。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述預分析柱的內部活動設有CST填充柱，所述第一分析柱的內部活動設有5A分子篩填充柱，所述第二分析柱的內部活動設有HaysepQ填充柱。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述定量筒的另一端螺紋連接有隔膜閥，所述隔膜閥的一端螺紋連接有防逆管道，所述防逆管道的一端通過安裝有的法蘭件螺紋連接有分子泵機組。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述第一分析柱的長度和直徑、第二分析柱的長度和直徑和預分析柱的長度和直徑均相等。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型一種超純砷烷的分析裝置，通過設有的DID檢測儀，利用DID檢測儀內部的氦離子化檢測器分析雜質氣體，結果穩定，能在很短的時間內給出平衡的分析值、定量準確、檢測限低及分析周期短，通過設有的分子泵機組、法蘭件、防逆管道和隔膜閥，便于采用負壓進氣的方式，提高了操作的安全性。

附圖說明

圖1為本實用新型正面結構示意圖。

圖中：1、分子泵機組；2、法蘭件；3、防逆管道；4、隔膜閥；5、螺紋連接頭；6、定量筒；7、第一氣體管道；8、第二氣體管道；9、預分析柱；10、第一分析柱；11、第二分析柱；12、第三氣體管道；13、第四氣體管道；14、DID檢測儀。

具體實施方式

下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。