[實(shí)用新型]一種超純砷烷的分析裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920938944.1 | 申請日： | 2019-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN210376231U | 公開（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張興 | 申請（專利權(quán)）人： | 海口美麗海洋化工有限公司 |
| 主分類號： | G01N27/68 | 分類號： | G01N27/68 |
| 代理公司： | 東莞市匯橙知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 44571 | 代理人： | 黎敏強(qiáng);朱明月 |
| 地址： | 570100 海南省海口市秀英區(qū)南*** | 國省代碼： | 海南;46 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 超純砷烷 分析 裝置 | ||
1.一種超純砷烷的分析裝置，包括定量筒(6)，其特征在于，所述定量筒(6)頂端的中部固定設(shè)有螺紋連接頭(5)，所述定量筒(6)的一端分別螺紋連接有第一氣體管道(7)和第二氣體管道(8)，所述第一氣體管道(7)的一端螺紋連接有預(yù)分析柱(9)，所述預(yù)分析柱(9)的一端螺紋連接有第三氣體管道(12)，所述第三氣體管道(12)的一端螺紋連接有DID檢測儀(14)，所述DID檢測儀(14)的一側(cè)螺紋連接有第四氣體管道(13)，所述第四氣體管道(13)和第二氣體管道(8)之間螺紋連接有第一分析柱(10)和第二分析柱(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純砷烷的分析裝置，其特征在于：所述預(yù)分析柱(9)的內(nèi)部活動設(shè)有CST填充柱，所述第一分析柱(10)的內(nèi)部活動設(shè)有5A分子篩填充柱，所述第二分析柱(11)的內(nèi)部活動設(shè)有Haysep Q填充柱。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純砷烷的分析裝置，其特征在于：所述定量筒(6)的另一端螺紋連接有隔膜閥(4)，所述隔膜閥(4)的一端螺紋連接有防逆管道(3)，所述防逆管道(3)的一端通過安裝有的法蘭件(2)螺紋連接有分子泵機(jī)組(1)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種超純砷烷的分析裝置，其特征在于：所述第一分析柱(10)的長度和直徑、第二分析柱(11)的長度和直徑和預(yù)分析柱(9)的長度和直徑均相等。
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