[實(shí)用新型]一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920910245.6 | 申請(qǐng)日: | 2019-06-17 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209843675U | 公開(公告)日: | 2019-12-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 衛(wèi)靜婷;陳利偉 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 廣東開放大學(xué)(廣東理工職業(yè)學(xué)院) |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;B08B3/12;B08B3/14 |
| 代理公司: | 44555 深圳市鼎泰正和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人: | 陳文姬 |
| 地址: | 510030 廣*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 清洗 濾桶 供氣機(jī) 連接座 清洗液 中空板 底端 轉(zhuǎn)動(dòng) 半導(dǎo)體器件 本實(shí)用新型 充氣部件 加氣裝置 離心方式 連接凸塊 濾水裝置 螺紋連接 密閉連接 清洗裝置 驅(qū)動(dòng)電機(jī) 軸承作用 充氣口 出水管 機(jī)體頂 連接槽 氣軟管 再啟動(dòng) 轉(zhuǎn)動(dòng)軸 外部 板槽 桿槽 瀝干 取下 上沖 硬管 支腳 置入 左部 左端 震蕩 運(yùn)轉(zhuǎn) | ||
1.一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于,包括,
機(jī)體;
機(jī)體底端四部角落與支腳焊接;
機(jī)體前端中下部焊接有出水管,出水管頂端中部與調(diào)節(jié)閥固定連接,出水管后端與清洗槽內(nèi)壁連通;
機(jī)體前端左下部與開關(guān)螺栓連接,開關(guān)左端設(shè)置有電源線;
機(jī)體頂端左部設(shè)置有加氣裝置;
機(jī)體左右兩端面均固定嵌入有超聲波組件,并且超聲波組件均與清洗槽內(nèi)壁連通;
機(jī)體底端中部設(shè)置有濾水裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述加氣裝置包括放置板、板槽、桿槽、支撐板、置氣軟管、硬管、中空板和氣孔,所述放置板右端中部設(shè)置有板槽,所述桿槽設(shè)置于放置板頂端右中部,所述支撐板底端與放置板頂端左前部焊接,所述置氣軟管貫穿支撐板左右兩端,并且支撐板與置氣軟管固定連接,所述硬管頂端與置氣軟管右端底部熱熔連接,所述中空板頂端中部與硬管熱熔連接,所述中空板頂端設(shè)置有氣孔,所述機(jī)體頂端左部與放置板螺栓連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述濾水裝置包括外殼、驅(qū)動(dòng)電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)軸、軸承、連接座、連接凸塊和清洗濾桶,所述外殼內(nèi)壁底端設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī),所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸底端與驅(qū)動(dòng)電機(jī)固定插接,所述軸承內(nèi)壁與轉(zhuǎn)動(dòng)軸外表面上部固定插接,所述連接座底端中部與轉(zhuǎn)動(dòng)軸焊接,所述清洗濾桶底端中部與連接凸塊焊接,所述連接凸塊外表面中部與連接座頂端中部螺紋連接,所述軸承外表面中部固定嵌入機(jī)體底端中部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述超聲波組件包括超聲波發(fā)生器和超聲換能器,所述超聲波發(fā)生器左端與超聲換能器右端螺栓連接,所述超聲換能器左端與清洗槽內(nèi)壁連通。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述超聲波組件設(shè)置有六組,并且超聲波組件對(duì)稱分布在機(jī)體左右兩端面。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述調(diào)節(jié)閥頂端設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)凸塊,并且轉(zhuǎn)動(dòng)凸塊外表面粗糙。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述中空板頂端面設(shè)置有金屬絲網(wǎng)層。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述清洗槽內(nèi)壁最小截面與中空板頂?shù)變啥嗣婢蕡A形狀,并且清洗槽內(nèi)壁最小截面大于中空板頂?shù)變啥嗣?mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種快捷的半導(dǎo)體器件清洗裝置,其特征在于:所述連接凸塊外表面中部與連接座頂端中部設(shè)置有連接口,并且連接口內(nèi)壁設(shè)置有螺紋,連接口內(nèi)壁與連接凸塊外表面中部相互嵌合。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





