[實用新型]一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920900232.0
• 申請日: 2019-06-16
• 公開（公告）號: CN210065916U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郝晉青;韓丙辰;謝澳華;劉陽;田棟棟;王晉康;張楠
• 申請（專利權(quán)）人: 太原師范學(xué)院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/513
• 代理公司: 14112 太原新航路知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)
• 代理人: 王勇

1.一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置，其特征在于：包括圓筒形反應(yīng)室（1）、外層水管（2）、圓餅形載臺（3）、內(nèi)層水管（4）、徑向支撐桿（5）、圓餅形水冷腔（6）、驅(qū)動電機(jī)（7）、驅(qū)動齒輪（8）、L形支撐桿（9）、導(dǎo)電觸頭（10）、熱絲陣列（11）、圓形加速筒（12）、徑向安裝桿（13）、下圓形導(dǎo)電加速柵網(wǎng)（14）、上圓形導(dǎo)電加速柵網(wǎng)（15）、下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（16）、上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）、喇叭形導(dǎo)氣罩（18）、U形導(dǎo)氣管（19）、下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）、上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）、放電針（22）、接地針（23）、抽氣孔（24）、矩形窗孔（25）、第一至第九電源；

圓筒形反應(yīng)室（1）的下端和上端均設(shè)有端壁；圓筒形反應(yīng)室（1）的下端壁中央貫通開設(shè)有下裝配孔；圓筒形反應(yīng)室（1）的上端壁貫通開設(shè)有兩個左右對稱的上裝配孔；外層水管（2）的外側(cè)面下端與下裝配孔的孔壁固定配合；圓餅形載臺（3）為空心結(jié)構(gòu)，且圓餅形載臺（3）的下端壁中央貫通開設(shè)有出水孔；圓餅形載臺（3）的下外端面內(nèi)邊緣轉(zhuǎn)動支撐于外層水管（2）的上端面，且圓餅形載臺（3）的下外端面內(nèi)邊緣與外層水管（2）的上端面之間設(shè)有迷宮密封；圓餅形載臺（3）的下外端面延伸設(shè)置有圓筒形凸臺，且圓筒形凸臺的軸線與圓餅形載臺（3）的軸線重合；圓筒形凸臺的內(nèi)側(cè)面與外層水管（2）的外側(cè)面之間留有距離；圓筒形凸臺的外側(cè)面下端設(shè)有驅(qū)動外輪齒；內(nèi)層水管（4）穿設(shè)于外層水管（2）的內(nèi)腔，且內(nèi)層水管（4）的軸線與外層水管（2）的軸線重合；內(nèi)層水管（4）的外側(cè)面與外層水管（2）的內(nèi)側(cè)面之間留有出水間隙；內(nèi)層水管（4）的下端面與外層水管（2）的下端面齊平；內(nèi)層水管（4）的上端面超出圓餅形載臺（3）的下內(nèi)端面；徑向支撐桿（5）的數(shù)目為多根；各根徑向支撐桿（5）的內(nèi)端面均與內(nèi)層水管（4）的外側(cè)面固定；各根徑向支撐桿（5）的外端面均與外層水管（2）的內(nèi)側(cè)面固定；各根徑向支撐桿（5）沿周向等距排列；圓餅形水冷腔（6）位于圓餅形載臺（3）的內(nèi)腔；圓餅形水冷腔（6）的下外端面與圓餅形載臺（3）的下內(nèi)端面之間、圓餅形水冷腔（6）的上外端面與圓餅形載臺（3）的上內(nèi)端面之間、圓餅形水冷腔（6）的外側(cè)面與圓餅形載臺（3）的內(nèi)側(cè)面之間均留有冷卻間隙；圓餅形水冷腔（6）的下端壁中央貫通開設(shè)有進(jìn)水孔；圓餅形水冷腔（6）的上端壁貫通開設(shè)有多個噴水孔；圓餅形水冷腔（6）的下外端面內(nèi)邊緣固定支撐于內(nèi)層水管（4）的上端面；驅(qū)動電機(jī)（7）安裝于圓筒形反應(yīng)室（1）的下內(nèi)端面，且驅(qū)動電機(jī)（7）的輸出軸朝上；驅(qū)動齒輪（8）固定裝配于驅(qū)動電機(jī)（7）的輸出軸上，且驅(qū)動齒輪（8）與驅(qū)動外輪齒嚙合；L形支撐桿（9）的水平段垂直固定于圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面，且L形支撐桿（9）的豎直段朝下；導(dǎo)電觸頭（10）安裝于L形支撐桿（9）的豎直段下端，且導(dǎo)電觸頭（10）與圓筒形凸臺的外側(cè)面接觸；熱絲陣列（11）水平安裝于圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)腔，且熱絲陣列（11）位于圓餅形載臺（3）的上方；圓形加速筒（12）位于熱絲陣列（11）的上方，且圓形加速筒（12）的軸線與圓餅形載臺（3）的軸線平行；圓形加速筒（12）的外徑小于圓餅形載臺（3）的外徑；徑向安裝桿（13）的內(nèi)端面與圓形加速筒（12）的外側(cè)面固定；徑向安裝桿（13）的外端面與圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面固定；下圓形導(dǎo)電加速柵網(wǎng)（14）的側(cè)面與圓形加速筒（12）的內(nèi)側(cè)面下部固定配合；上圓形導(dǎo)電加速柵網(wǎng)（15）的側(cè)面與圓形加速筒（12）的內(nèi)側(cè)面上部固定配合；

下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（16）的側(cè)面與圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（16）位于圓形加速筒（12）的上方；上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）的側(cè)面與圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面固定配合，且上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）位于下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（16）的上方；喇叭形導(dǎo)氣罩（18）的細(xì)端朝上、粗端朝下；喇叭形導(dǎo)氣罩（18）的下端敞口邊沿與圓筒形反應(yīng)室（1）的內(nèi)側(cè)面密封固定，且喇叭形導(dǎo)氣罩（18）位于上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）的上方；U形導(dǎo)氣管（19）的兩個側(cè)邊分別固定貫穿兩個上裝配孔，且U形導(dǎo)氣管（19）的兩個管口均朝上；U形導(dǎo)氣管（19）的底邊中央貫通開設(shè)有朝下的導(dǎo)氣孔，且導(dǎo)氣孔與喇叭形導(dǎo)氣罩（18）的上端敞口密封連通；下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）的側(cè)面與U形導(dǎo)氣管（19）的左側(cè)邊內(nèi)側(cè)面固定配合；上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）的側(cè)面與U形導(dǎo)氣管（19）的左側(cè)邊內(nèi)側(cè)面固定配合，且上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）位于下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）的上方；放電針（22）的數(shù)目為多根；各根放電針（22）均垂直固定于上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）的下端面；接地針（23）的數(shù)目為兩排；每排接地針（23）均包括多根接地針（23）；兩排接地針（23）相互正對地垂直固定于U形導(dǎo)氣管（19）的左側(cè)邊內(nèi)側(cè)面，且兩排接地針（23）均位于上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）的上方；抽氣孔（24）貫通開設(shè)于圓筒形反應(yīng)室（1）的側(cè)壁，且抽氣孔（24）位于圓餅形載臺（3）的下方；矩形窗孔（25）貫通開設(shè)于圓筒形反應(yīng)室（1）的側(cè)壁；矩形窗孔（25）的上孔壁高于熱絲陣列（11）；矩形窗孔（25）的下孔壁與圓餅形載臺（3）的上外端面齊平；矩形窗孔（25）上安裝有矩形透明窗門；

第一電源的兩極分別與驅(qū)動電機(jī)（7）的兩個電源端連接；第二電源的兩極分別與熱絲陣列（11）的兩個電源端連接；第三至第九電源均為直流電源；第三電源的正極與上圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（21）連接；第三電源的負(fù)極、第四電源的正極均與下圓形小導(dǎo)電柵網(wǎng)（20）連接；第四電源的負(fù)極、第五電源的正極均與上圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（17）連接；第五電源的負(fù)極、第六電源的正極均與下圓形大導(dǎo)電柵網(wǎng)（16）連接；第六電源的負(fù)極、第七電源的正極均與上圓形導(dǎo)電加速柵網(wǎng)（15）連接；第七電源的負(fù)極、第八電源的正極均與下圓形導(dǎo)電加速柵網(wǎng)（14）連接；第八電源的負(fù)極、第九電源的正極均與熱絲陣列（11）的其中一個電源端連接；第九電源的負(fù)極與導(dǎo)電觸頭（10）連接；兩排接地針（23）均接地。