[實用新型]一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置

有效

• 申請號: 201920900232.0
• 申請日: 2019-06-16
• 公開（公告）號: CN210065916U
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 郝晉青;韓丙辰;謝澳華;劉陽;田棟棟;王晉康;張楠
• 申請（專利權）人: 太原師范學院
• 主分類號: C23C16/27
• 分類號: C23C16/27;C23C16/513
• 代理公司: 14112 太原新航路知識產權代理事務所(特殊普通合伙)
• 代理人: 王勇

本實用新型涉及金剛石膜的制備技術，具體是一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置。本實用新型解決了采用熱絲化學氣相沉積法大面積制備金剛石膜時制備質量和速度受限的問題。一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置，包括圓筒形反應室、外層水管、圓餅形載臺、內層水管、徑向支撐桿、圓餅形水冷腔、驅動電機、驅動齒輪、L形支撐桿、導電觸頭、熱絲陣列、圓形加速筒、徑向安裝桿、下圓形導電加速柵網、上圓形導電加速柵網、下圓形大導電柵網、上圓形大導電柵網、喇叭形導氣罩、U形導氣管、下圓形小導電柵網、上圓形小導電柵網、放電針、接地針、抽氣孔、矩形窗孔、第一至第九電源。本實用新型適用于金剛石膜的大面積制備。

技術領域

本實用新型涉及金剛石膜的制備技術，具體是一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置。

背景技術

金剛石膜是一種集各種優異性能于一身的功能材料，其廣泛應用于微電子、光電子、生物醫學、機械、航空航天、核能等領域。目前，大面積制備金剛石膜的主要方法之一是熱絲化學氣相沉積法。然而實踐表明，采用熱絲化學氣相沉積法大面積制備金剛石膜時，存在如下問題：由于等離子體氣流在基片的徑向上存在不均勻性，且等離子體和基片之間的相對速度較低，導致金剛石膜的沉積厚度在徑向上不均勻、沉積速度受限，由此導致金剛石膜的制備質量和速度受限。基于此，有必要發明一種全新的制備技術，以解決采用熱絲化學氣相沉積法大面積制備金剛石膜時制備質量和速度受限的問題。

發明內容

本實用新型為了解決采用熱絲化學氣相沉積法大面積制備金剛石膜時制備質量和速度受限的問題，提供了一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置。

本實用新型是采用如下技術方案實現的：

一種帶有加速筒的金剛石膜制備裝置，包括圓筒形反應室、外層水管、圓餅形載臺、內層水管、徑向支撐桿、圓餅形水冷腔、驅動電機、驅動齒輪、L形支撐桿、導電觸頭、熱絲陣列、圓形加速筒、徑向安裝桿、下圓形導電加速柵網、上圓形導電加速柵網、下圓形大導電柵網、上圓形大導電柵網、喇叭形導氣罩、U形導氣管、下圓形小導電柵網、上圓形小導電柵網、放電針、接地針、抽氣孔、矩形窗孔、第一至第九電源；