[實用新型]一種微尺度ITO電極的加工裝置

有效

• 申請號: 201920888976.5
• 申請日: 2019-06-13
• 公開（公告）號: CN209766123U
• 公開（公告）日: 2019-12-10
• 發明（設計）人: 王賽杰;殷藝;陳良;馬蕊;劉連坤;武森;劉志堅
• 申請（專利權）人: 大連海事大學
• 主分類號: H01B13/00
• 分類號: H01B13/00;H01B13/30
• 代理公司: 21212 大連東方專利代理有限責任公司
• 代理人: 姜威威;李洪福

1.一種微尺度ITO電極的加工裝置，其特征在于：包括凈化模塊(1)，干燥模塊(2)和等離子清洗模塊(3)和刻蝕進程監測電路模塊(4)；

所述凈化模塊(1)包括用于清除ITO玻璃片表面有機物的有機物清除凈化單元(10)與清除ITO玻璃片和PDMS片表面的無機物的無機物清除凈化單元(11)；

所述干燥模塊(2)將所述凈化模塊(1)清除凈化后得到的ITO玻璃片與PDMS片進行干燥處理；

所述等離子清洗模塊(3)將表面干燥的ITO玻璃和PDMS片進行等離子清洗處理；

其中ITO玻璃與PDMS片鍵合得到微流控芯片；

所述刻蝕進程監測電路模塊(4)用于監控和顯示微流控芯片是否完成ITO玻璃的刻蝕；

所述干燥模塊(2)包括風干單元(20)和烘干單元(21)，所述風干單元(20)包括用馬達驅動的風扇(200)、軟管(201)和噴嘴(202)，所述軟管(201)的一端通過殼體(5)上出風口延伸至殼體(5)的外部，軟管(201)的另一端的放置在所述風扇(200)正面的底部；所述噴嘴(202)和所述軟管(201)的另一端相連接；

所述烘干單元(21)包括加熱板(210)、調節加熱板(210)溫度的溫度調節器(211)、顯示加熱板(210)表面溫度的溫度顯示器(212)和固定壓片夾(213)，所述溫度調節器(211)與所述加熱板(210)和所述溫度顯示器(212)相連接，所述壓片夾(213)通過螺栓固定在加熱板(210)上。

2.根據權利要求1所述的一種微尺度ITO電極的加工裝置，其特征還在于：所述有機物清除凈化單元(10)采用可移動丙酮溶液浸泡容器(100)，所述無機物清除凈化單元(11)采用超聲波清洗裝置(110)。

3.根據權利要求1所述的一種微尺度ITO電極的加工裝置，其特征還在于：該裝置，還包括殼體(5)，所述凈化模塊(1)、干燥模塊(2)、等離子清洗模塊(3)和刻蝕進程監測電路模塊(4)安裝在所述殼體(5)的內部。