[實(shí)用新型]一種共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920884061.7
• 申請(qǐng)日: 2019-06-12
• 公開（公告）號(hào): CN210198964U
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 文煜;王勤生;許晨旭;楊永強(qiáng);趙衛(wèi)芳;程小豹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇省特種設(shè)備安全監(jiān)督檢驗(yàn)研究院
• 主分類號(hào): G01N21/65
• 分類號(hào): G01N21/65;G01N23/227
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

本實(shí)用新型公開了一種共聚焦拉曼?光電流測(cè)試系統(tǒng)，涉及光電測(cè)試及拉曼測(cè)試領(lǐng)域，該系統(tǒng)中主控設(shè)備通過激光器、分光器、顯微物鏡和光譜儀的配合可以采集測(cè)試臺(tái)上的待測(cè)試樣品的拉曼光譜信號(hào)，同時(shí)通過電學(xué)探針和鎖相放大器的配合可以采集該待測(cè)樣品的光電流信號(hào)，從而使得該系統(tǒng)可以分別或同時(shí)對(duì)待測(cè)試樣品進(jìn)行拉曼測(cè)試和光電流測(cè)試，從而對(duì)光電器件的物理特性及器件性能進(jìn)行快速精確表征，為光電器件性能的提升提供分析依據(jù)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光電測(cè)試及拉曼測(cè)試領(lǐng)域，尤其是一種共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)

石墨烯是2004年發(fā)現(xiàn)的新型碳材料，具有線性電子能帶結(jié)構(gòu)、大的載流子遷移率、高度可調(diào)的費(fèi)米能級(jí)和良好透光性(精細(xì)常數(shù)相關(guān)的吸收系數(shù))等優(yōu)異的光電特性。利用石墨烯的獨(dú)特光電特性制備高性能的光電轉(zhuǎn)換器件是石墨烯走向大規(guī)模應(yīng)用的研究關(guān)鍵點(diǎn)。在石墨烯異質(zhì)器件中，石墨烯的品質(zhì)以及界面態(tài)對(duì)器件的性能起到關(guān)鍵作用，因此，如何快速無損地表征轉(zhuǎn)移到半導(dǎo)體上的石墨烯的品質(zhì)，至關(guān)重要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本發(fā)明人針對(duì)上述問題及技術(shù)需求，提出了一種共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以對(duì)待測(cè)試樣品分別或同時(shí)進(jìn)行拉曼測(cè)試和光電流測(cè)試，從而對(duì)待測(cè)試樣品的物理特性及器件性能進(jìn)行快速精確表征。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：

一種共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)，包括待測(cè)試樣品，該共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)包括主控設(shè)備、測(cè)試臺(tái)、激光器、分光器、顯微物鏡、光譜儀、電學(xué)探針以及鎖相放大器；待測(cè)試樣品放置在測(cè)試臺(tái)上，顯微物鏡正對(duì)測(cè)試臺(tái)上的待測(cè)試樣品，激光器發(fā)出的激光信號(hào)經(jīng)分光器分光后被顯微物鏡聚焦于待測(cè)試樣品上，待測(cè)試樣品產(chǎn)生的拉曼信號(hào)被顯微物鏡收集并耦合到光譜儀，光譜儀電性連接主控設(shè)備；測(cè)試臺(tái)上接有電學(xué)探針，電學(xué)探針與待測(cè)試樣品的電極相接觸，電學(xué)探針連接鎖相放大器，鎖相放大器連接至主控設(shè)備，主控設(shè)備分別或同時(shí)對(duì)待測(cè)試樣品進(jìn)行拉曼測(cè)試和光電流測(cè)試。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，電學(xué)探針通過源表連接鎖相放大器，源表用于通過電學(xué)探針對(duì)待測(cè)試樣品施加零偏壓并測(cè)量自驅(qū)動(dòng)樣品的光電響應(yīng)，或者，源表用于通過電學(xué)探針對(duì)待測(cè)試樣品施加非零偏壓并測(cè)量非自驅(qū)動(dòng)樣品的光電響應(yīng)。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，測(cè)試臺(tái)為電動(dòng)測(cè)試臺(tái)，測(cè)試臺(tái)包括第一位移驅(qū)動(dòng)裝置和第二位移驅(qū)動(dòng)裝置，主控設(shè)備連接并驅(qū)動(dòng)第一位移驅(qū)動(dòng)裝置和第二位移驅(qū)動(dòng)裝置，第一位移驅(qū)動(dòng)裝置和第二位移驅(qū)動(dòng)裝置分別用于驅(qū)動(dòng)測(cè)試臺(tái)在水平面相垂直的兩個(gè)方向移動(dòng)，測(cè)試臺(tái)帶動(dòng)待測(cè)試樣品相對(duì)顯微物鏡和電學(xué)探針移動(dòng)。

其進(jìn)一步的技術(shù)方案為，激光器為多點(diǎn)線激光模組。

本實(shí)用新型的有益技術(shù)效果是：

本申請(qǐng)公開了一種共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)，該系統(tǒng)中主控設(shè)備通過激光器、分光器、顯微物鏡和光譜儀的配合可以采集測(cè)試臺(tái)上的待測(cè)試樣品的拉曼光譜信號(hào)，同時(shí)通過電學(xué)探針和鎖相放大器的配合可以采集該待測(cè)樣品的光電流信號(hào)，從而使得該系統(tǒng)可以分別或同時(shí)對(duì)待測(cè)試樣品進(jìn)行拉曼測(cè)試和光電流測(cè)試，從而對(duì)光電器件的物理特性及器件性能進(jìn)行快速精確表征，為光電器件性能的提升提供分析依據(jù)。

主控設(shè)備控制測(cè)試臺(tái)帶動(dòng)待測(cè)試樣品的移動(dòng)，可自動(dòng)對(duì)待測(cè)試樣品表面進(jìn)行掃描，獲得待測(cè)試樣品表面的拉曼信號(hào)掃描圖像及光電流掃描圖像，從而可對(duì)大面積光電器件表面材料質(zhì)量、器件性能進(jìn)行檢測(cè)。

附圖說明

圖1是本申請(qǐng)公開的共聚焦拉曼-光電流測(cè)試系統(tǒng)。

圖2是本申請(qǐng)中測(cè)試臺(tái)和電學(xué)探針之間的組裝結(jié)構(gòu)的放大圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式做進(jìn)一步說明。