[實用新型]一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置

有效

• 申請號: 201920882105.2
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN210181200U
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 孫軍
• 申請（專利權）人: 無錫新微陽科技有限公司
• 主分類號: G01R35/00
• 分類號: G01R35/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：包括顯微鏡(1)、夾緊組件(2)和調節組件(3)；

所述夾緊組件(2)包括底支撐板(21)，所述底支撐板(21)上呈豎向固定連接有支柱(22)，所述支柱(22)沿著底支撐板(21)的長度方向相對設置，兩側支柱(22)的頂面分別固定連接有承接板(23)，所述承接板(23)上貼合有壓板(24)，兩側壓板(24)相對的側面開有卡槽(241)，所述卡槽(241)位于壓板(24)的下表面，所述壓板(24)上穿設有鎖緊螺栓(25)，所述鎖緊螺栓(25)穿入卡槽(241)內，其與壓板(24)之間螺紋連接；

所述調節組件(3)包括支撐柱(31)和連接在支撐柱(31)上的延伸桿組(32)，所述顯微鏡(1)連接在延伸桿組(32)遠離支撐柱(31)的一端。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述壓板(24)上開有調節腰孔(242)，所述調節腰孔(242)的長度方向與底支撐板(21)的長度方向一致，穿過調節腰孔(242)設有限位螺桿(26)，所述限位螺桿(26)螺紋連接于承接板(23)，所述限位螺桿(26)的頂端固定連接有用于壓緊壓板(24)的壓盤(261)。

3.根據權利要求1所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述延伸桿組(32)包括第一滑塊(321)、水平柱(322)、第二滑塊(323)、縱向柱(324)，所述第一滑塊(321)滑移套設在支撐柱(31)上，所述第一滑塊(321)穿設有第一鎖死螺栓(325)，所述第一鎖死螺栓(325)螺紋連接于第一滑塊(321)并抵觸于支撐柱(31)，所述水平柱(322)固定連接于第一滑塊(321)，所述第二滑塊(323)套設在水平柱(322)上，所述縱向柱(324)固定連接在第二滑塊(323)上，所述縱向柱(324)遠離第二滑塊(323)的一端套設有連接套(33)，所述顯微鏡(1)的側壁固定連接有過渡板(11)，所述過渡板(11)連接于連接套(33)。

4.根據權利要求3所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述第二滑塊(323)滑移連接在水平柱(322)上，所述第二滑塊(323)穿設有第二鎖死螺栓(326)，所述第二鎖死螺栓(326)螺紋連接于第二滑塊(323)并抵觸與水平柱(322)。

5.根據權利要求3所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述連接套(33)朝向顯微鏡(1)的側壁呈豎向固定連接有升降齒條(331)，所述升降齒條(331)的橫截面呈燕尾狀，所述過渡板(11)朝向連接套(33)的一側豎向開有升降槽(111)，所述升降槽(111)的橫截面呈燕尾狀，所述升降齒條(331)滑移在升降槽(111)中，所述升降槽(111)中橫向穿設有調節桿(5)，所述調節桿(5)上設有嚙合于升降齒條(331)的嚙合齒牙(51)，所述調節桿(5)轉動連接于過渡板(11)，其伸出過渡板(11)的一端固定連接有調節轉盤(52)。

6.根據權利要求4所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述水平柱(322)沿著其長度方向開有限制槽(3221)，所述第二滑塊(323)的內側壁設有滑移在限制槽(3221)中的限制塊(3231)。

7.根據權利要求1所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述支柱(22)包括固定連接在底支撐板(21)上的支撐套(221)和滑移在支撐套(221)內的頂升柱(222)，兩側的頂升柱(222)之間固定連接有一塊同步板(41)，所述同步板(41)的下方設有頂升氣缸(4)，所述頂升氣缸(4)的伸縮桿向上并固定連接于同步板(41)，所述頂升氣缸(4)的底部固定連接于底支撐板(21)。

8.根據權利要求7所述的一種用于晶圓探針卡的顯微鏡校正裝置，其特征在于：所述支撐套(221)內放置有支撐壓簧(34)，所述頂升柱(222)頂撐在支撐壓簧(34)上。