[實(shí)用新型]用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920882104.8
• 申請(qǐng)日: 2019-06-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN210181085U
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫新微陽(yáng)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型屬于晶圓測(cè)試設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，其技術(shù)方案要點(diǎn)是包括成對(duì)設(shè)置的第一支撐臂和第二支撐臂，所述第一支撐臂與片盒升降機(jī)構(gòu)的上表面固接，所述第二支撐臂與晶圓匣的框體底面相抵，第二支撐臂一端與第一支撐臂鉸接，另一端與第一支撐臂之間設(shè)有第三支撐臂，所述第三支撐臂位于晶圓匣的晶圓入口一端，具有能夠有效防止晶圓從晶圓匣內(nèi)滑出，避免晶圓磕碰在機(jī)架上的效果。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓測(cè)試設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

探針臺(tái)是集成電路測(cè)試的主要設(shè)備之一，配合測(cè)試機(jī)使用，對(duì)未切割的晶圓片進(jìn)行檢測(cè)。

公告號(hào)為CN203414540U的中國(guó)專利公開(kāi)了一種全自動(dòng)IC及LED測(cè)試一體化系統(tǒng)，包括探針臺(tái)模塊和測(cè)試機(jī)模塊，所述探針臺(tái)模塊包括輸送晶圓的片盒升降機(jī)構(gòu)、移動(dòng)晶圓至測(cè)試位置的承片機(jī)構(gòu)和將晶圓由所述片盒升降機(jī)構(gòu)傳遞至承片機(jī)構(gòu)的上片機(jī)構(gòu)，所述測(cè)試機(jī)模塊包括相連的探卡和測(cè)試機(jī)，所述探卡與所述承片機(jī)構(gòu)配合并置于所述承片機(jī)構(gòu)的上方，所述測(cè)試機(jī)與所述承片機(jī)構(gòu)相連，所述承片機(jī)構(gòu)中還包括承片臺(tái)、第一動(dòng)力裝置和第二動(dòng)力裝置，所述第一動(dòng)力裝置直線驅(qū)動(dòng)所述承片臺(tái)，所述第二動(dòng)力裝置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)所述承片臺(tái)。

這種全自動(dòng)IC及LED測(cè)試一體化系統(tǒng)中用于盛裝晶圓的片盒即晶圓匣，公告號(hào)為CN208806233U的中國(guó)專利公開(kāi)了一種晶圓匣，包括承載部與框體。框體連接承載部，并具有晶圓入口。承載部位于晶圓入口的正下方。框體包括多個(gè)圍繞晶圓入口的上端部，其中各個(gè)上端部朝向遠(yuǎn)離承載部的方向延伸及漸縮，以使各個(gè)上端部的頂端不形成水平平面。

上述晶圓匣的框體相對(duì)的兩側(cè)壁上成對(duì)開(kāi)設(shè)有溝槽，溝槽一端與晶圓入口連通，另一端延伸至承載部，每一對(duì)溝槽可以放置一片晶圓。

在實(shí)際使用過(guò)程中，探針臺(tái)內(nèi)的片盒升降機(jī)構(gòu)、上片機(jī)構(gòu)和承片機(jī)構(gòu)相互配合，將晶圓從晶圓匣內(nèi)取出，完成晶圓的輸送和定位，并在測(cè)試結(jié)束后將晶圓送回晶圓匣。這一系列動(dòng)作均需要電機(jī)、絲杠、齒輪等機(jī)械結(jié)構(gòu)驅(qū)動(dòng)，同時(shí)也必然會(huì)導(dǎo)致探針臺(tái)的小幅度振動(dòng)。振動(dòng)傳遞至晶圓匣和晶圓匣內(nèi)的晶圓上時(shí)，往往容易使晶圓在晶圓匣內(nèi)移動(dòng)，晶圓會(huì)有部分從晶圓入口處伸出。此時(shí)片盒升降機(jī)構(gòu)驅(qū)使晶圓匣升降，從晶圓入口處伸出的部分晶圓撞擊在探針臺(tái)的機(jī)架上，則會(huì)導(dǎo)致晶圓破裂。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，具有能夠有效防止晶圓從晶圓匣內(nèi)滑出，避免晶圓磕碰在機(jī)架上的優(yōu)點(diǎn)。

本實(shí)用新型的上述技術(shù)目的是通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn)的：

一種用于探針臺(tái)的晶圓防滑出結(jié)構(gòu)，包括成對(duì)設(shè)置的第一支撐臂和第二支撐臂，所述第一支撐臂與片盒升降機(jī)構(gòu)的上表面固接，所述第二支撐臂與晶圓匣的框體底面相抵，第二支撐臂一端與第一支撐臂鉸接，另一端與第一支撐臂之間設(shè)有第三支撐臂，所述第三支撐臂位于晶圓匣的晶圓入口一端。

通過(guò)采用上述技術(shù)方案，第二支撐臂一端與第一支撐臂鉸接，將第三支撐臂卡入第二支撐臂和第一支撐臂的另一端之間，使放置在第二支撐臂上的晶圓匣框體傾斜，晶圓入口端上抬，當(dāng)晶圓受到震動(dòng)偏離原位后，其在重力作用下背向晶圓入口滑動(dòng)，從而能夠有效防止晶圓從晶圓匣內(nèi)滑出，避免晶圓磕碰在機(jī)架上。

進(jìn)一步的，所述第一支撐臂朝向第三支撐臂一端的上表面開(kāi)設(shè)有燕尾槽，且燕尾槽沿第一支撐臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置，所述第三支撐臂沿豎直方向設(shè)置，第三支撐臂底端滑動(dòng)設(shè)置在燕尾槽內(nèi)，頂端與第二支撐臂的下表面相抵。

通過(guò)采用上述技術(shù)方案，使第三支撐臂在燕尾槽內(nèi)滑動(dòng)，調(diào)節(jié)第三支撐臂的位置，即可改變第二支撐臂的傾斜角度，進(jìn)而調(diào)節(jié)框體的傾斜角度，在保證晶圓不從框體內(nèi)滑出的情況下，便于上片機(jī)構(gòu)吸取晶圓。

進(jìn)一步的，所述第二支撐臂的下表面開(kāi)設(shè)有限位槽，所述限位槽沿第二支撐臂的長(zhǎng)度方向設(shè)置。