[實用新型]用于探針臺的晶圓防滑出結構

有效

• 申請號: 201920882104.8
• 申請日: 2019-06-12
• 公開（公告）號: CN210181085U
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 陳超
• 申請（專利權）人: 無錫新微陽科技有限公司
• 主分類號: G01R1/04
• 分類號: G01R1/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：包括成對設置的第一支撐臂（1）和第二支撐臂（2），所述第一支撐臂（1）與片盒升降機構（5）的上表面固接，所述第二支撐臂（2）與晶圓匣的框體（6）底面相抵，第二支撐臂（2）一端與第一支撐臂（1）鉸接，另一端與第一支撐臂（1）之間設有第三支撐臂（3），所述第三支撐臂（3）位于晶圓匣的晶圓入口一端。

2.根據權利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：所述第一支撐臂（1）朝向第三支撐臂（3）一端的上表面開設有燕尾槽（11），且燕尾槽（11）沿第一支撐臂（1）的長度方向設置，所述第三支撐臂（3）沿豎直方向設置，第三支撐臂（3）底端滑動設置在燕尾槽（11）內，頂端與第二支撐臂（2）的下表面相抵。

3.根據權利要求2所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：所述第二支撐臂（2）的下表面開設有限位槽（21），所述限位槽（21）沿第二支撐臂（2）的長度方向設置。

4.根據權利要求3所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：所述第三支撐臂（3）頂端鉸接有鋸齒頭（31），所述鋸齒頭（31）與限位槽（21）的槽底相抵，鋸齒頭（31）背向第三支撐臂（3）的一側設有鋸齒，所述限位槽（21）的槽底對應設有鋸齒部（22）。

5.根據權利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：所述第二支撐臂（2）朝向第三支撐臂（3）一端的下表面開設有腰型槽（23），且腰型槽（23）沿第二支撐臂（2）的長度方向設置，所述第三支撐臂（3）沿豎直方向設置，第三支撐臂（3）底端與第一支撐臂（1）固接，第三支撐臂（3）頂部套設有螺母（32），頂端穿設于腰型槽（23）內，所述螺母（32）與第二支撐臂（2）的下表面相抵。

6.根據權利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：兩個所述第二支撐臂（2）相背的一側分別設有側板（24），所述側板（24）沿豎直方向設置，側板（24）上穿設有緊固螺桿（25），所述緊固螺桿（25）與側板（24）螺紋配合，緊固螺桿（25）指向框體（6）的側壁。

7.根據權利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：所述第二支撐臂（2）背向第三支撐臂（3）的一端設有限位擋板（26），所述限位擋板（26）與框體（6）背向晶圓入口的一側相抵。

8.根據權利要求1所述的一種用于探針臺的晶圓防滑出結構，其特征在于：所述第二支撐臂（2）之間設有橫梁（4）相連。