[實用新型]用于化學氣相沉積裝置中生長碳納米管陣列的石英舟結構

有效

• 申請號: 201920872455.0
• 申請日: 2019-06-11
• 公開（公告）號: CN210796614U
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 汪小知;張亮;沈龍;胡海洋
• 申請（專利權）人: 杭州英希捷科技有限責任公司
• 主分類號: C23C16/448
• 分類號: C23C16/448;C23C16/26;C01B32/16
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200
• 代理人: 林超

本實用新型公開了一種用于化學氣相沉積裝置中生長碳納米管陣列的石英舟結構。所述的石英舟結構包括石英舟主體和在石英舟主體表面的多個卡槽，卡槽中用來放置生長碳納米管陣列的基底；卡槽為布置于石英舟主體上表面的截面為U形的條形槽，條形槽的兩端非封閉，多個卡槽相平行間隔布置且位于石英舟主體上表面的中部。本實用新型解決了在化學氣相沉積裝置用、雙面生長碳納米管陣列時，基底兩面生長的碳納米管陣列形貌不一致的問題。

技術領域

本實用新型涉及了一種化學制備的石英舟結構，尤其是涉及一種用于化學氣相沉積裝置中生長碳納米管陣列的石英舟結構。

背景技術

碳納米管是一種由碳原子組成的直徑為納米量級的碳管，在碳納米管石墨層中央部份都是六元環,而在末端或轉折部份則有五元環或七元環。碳納米管是在1991年由Iijima在電弧放電的產物中首次發現的,發表在1991年出版的Nature354,56。碳納米管的特殊結構決定了其具有優良的綜合力學性能，如高彈性模量、高楊氏模量和低密度，以及優異的電學性能、熱學性能和吸附性能。隨著碳納米管的長度、直徑和螺旋方式的變化，碳納米管可呈現出金屬性或半導體性質。由于碳納米管的優異特性,因此可望其在納米電子學、材料科學、生物學、化學等領域中發揮重要作用。

目前制備碳納米管的方法主要有電弧放電法、脈沖激光蒸發法及化學氣相沉積法幾種。化學氣相沉積作為一種常用的方法，在基底雙面同時生長碳納米管陣列時，上下表面的碳管形貌通常相差較大。這是由于常用的石英舟無法使基底上下表面處在相同的生長環境下，導致上下表面的碳管生長不一致。

實用新型內容

為了解決背景技術中存在的問題，主要解決在使用化學氣相沉積雙面生長碳納米管陣列時基底上下表面的碳管形貌不一致的問題，本實用新型提出了一種特殊的石英舟結構，提供了基底片在化學氣相沉積中相同的生長環境，有效解決了碳納米管陣列上下表面形貌不一致的問題，能夠用于在化學氣相沉積裝置中雙面生長碳納米管陣列。

本實用新型采用的技術方案如下：

所述的石英舟結構包括石英舟主體和在石英舟主體表面的多個卡槽，卡槽中用來放置生長碳納米管陣列的基底；卡槽為布置于石英舟主體上表面的截面為U形的條形槽，條形槽的兩端非封閉，多個卡槽相平行間隔布置且位于石英舟主體上表面的中部。

所述的石英舟主體表面布置有三個卡槽。

所述的石英舟主體為上端開口的方形殼體結構。

所述的石英舟主體的長10厘米，寬4厘米，高1厘米，外壁寬0.4厘米。

所述的卡槽長7厘米，高度低于1厘米，單個卡槽的槽寬為0.1-0.2厘米。

本實用新型的有益效果是：

與現有的石英舟相比，本實用新型公開的石英舟結構，用于實現基底上下表面生長環境的一致性，解決了在基底雙面同時生長碳納米管陣列時，上下表面的碳管形貌通常相差較大的問題，能夠用于實現改善在化學氣相沉積裝置中生長碳納米管陣列時上下表面形貌的一致性。

附圖說明

圖1為實施例制成的石英舟結構示意圖。

圖1(a)為實施例制成的石英舟結構俯視圖。

圖1(b)為實施例制成的石英舟結構側視圖之一。

圖1(c)為實施例制成的石英舟結構側視圖之二。

圖中：石英舟主體1、卡槽2。

具體實施方式

下面結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

本實用新型主要結構包括石英舟主體和在主體正面的三個卡槽，下面結合附圖說明本實用新型提出的石英舟結構的使用方法。