[實用新型]一種超高真空旋轉饋入裝置

有效

• 申請號: 201920869832.5
• 申請日: 2019-06-11
• 公開（公告）號: CN210290674U
• 公開（公告）日: 2020-04-10
• 發明（設計）人: 謝斌平;郭云飛
• 申請（專利權）人: 費勉儀器科技(南京)有限公司;費勉儀器科技(上海)有限公司
• 主分類號: F16H57/021
• 分類號: F16H57/021;F16H57/023;F16H57/025;F16H57/029;F16H57/039;H02K7/116;H02K5/173;G01B5/24
• 代理公司: 上海精晟知識產權代理有限公司 31253
• 代理人: 馮子玲

本實用新型提供了一種超高真空旋轉饋入裝置，用于解決現有技術中旋轉饋入裝置有效通徑小、承重能力差、密封圈容易損壞、密封性差的技術問題，包括：電機、電機支架、聯軸器、固定架、交叉滾子軸承、蝸桿、蝸輪、上法蘭和下法蘭；固定架包括軸承外圈蓋板、蝸桿支架和蝸桿固定件；上法蘭包括內圈固定端和延長端，下法蘭包括外圈固定端和密封端；實施本實用新型的技術方案，使用蝸桿和蝸輪作為主傳動機構，裝置結構簡單；密封圈設置在下法蘭內側，避免直接承受壓力，可延長密封圈的壽命；設置交叉滾子軸承，降低裝置工作過程中產生的晃動，提高裝置的控制精度；設置多條密封圈并設置差分抽氣法蘭，裝置可適用超高真空腔體。

技術領域

本實用新型涉及超高真空反應裝置領域，特別涉及一種超高真空旋轉饋入裝置。

背景技術

現有技術中，旋轉饋入裝置，多使用角接觸軸承、深溝球軸承或帶固定螺紋孔的交叉滾子軸承作為支撐；若使用角接觸軸承作為支撐，裝置通常外徑大，有效通徑小，裝置使用過程中晃動大，承重能力差，容易發生粉末污染，并且密封圈受擠壓，磨損大，壽命短；若使用帶固定螺紋孔的交叉滾子軸承作為支撐，但是裝置整體結構過于龐大，笨重，有效通徑較小，裝置兼容性差，使用條件受限嚴重；若使用深溝球軸承作為支撐的結構會裝置出現承重能力弱，晃動大導致密封圈磨損嚴重，壽命短的問題。

因此需要一種裝置結構簡單、承重能力強、壽命長、可用于超高真空的旋轉饋入裝置。

實用新型內容

為了解決上述技術問題，本實用新型中披露了一種超高真空旋轉饋入裝置，本實用新型的技術方案是這樣實施的：

一種超高真空旋轉饋入裝置，包括：電機、電機支架、聯軸器、固定架、交叉滾子軸承、蝸桿、蝸輪、上法蘭和下法蘭；其中，所述固定架包括軸承外圈蓋板、蝸桿支架和蝸桿固定件；所述電機支架固定至所述電機，所述蝸桿支架固定至所述電機支架；所述蝸桿固定件固定至所述蝸桿支架，所述蝸桿安裝在所述蝸桿固定件上，所述蝸桿一端連接至所述聯軸器；所述上法蘭包括內圈固定端和伸入所述下法蘭的延長端，所述下法蘭包括外圈固定端和密封端；所述軸承外圈蓋板固定至所述外圈固定端，所述交叉滾子軸承的外圈安裝至所述外圈固定端和所述軸承外圈蓋板；所述延長端和所述密封端密封連接；所述蝸輪安裝在所述上法蘭上，與所述蝸桿嚙合連接；所述電機驅動所述蝸桿旋轉，帶動所述蝸輪和所述上法蘭旋轉。

優選地，所述蝸桿支架和所述軸承外圈蓋板為一體化制造的。

優選地，所述下法蘭還包括第一臺階，所述交叉滾子軸承的外圈安裝在所述第一臺階和所述軸承外圈蓋板之間。

優選地，所述內圈固定端包括第二臺階、擋板和擋板凹槽，所述擋板卡接在所述擋板凹槽中；所述交叉滾子軸承安裝在所述第二臺階和所述擋板之間。

優選地，所述可用于真空腔體的旋轉饋入裝置，還包括密封圈；所述密封端內側設置環形凹槽，所述密封圈安裝在所述環形凹槽中；所述凹槽與所述密封圈的數量相等，均設置為大于一個的。

優選地，所述下法蘭還包括抽氣機構，所述抽氣機構包括抽氣通道和差分抽氣法蘭；所述差分抽氣法蘭設置于所述密封端外側，所述抽氣通道設置于多個所述環形凹槽之間，通過無縫管連通至所述差分抽氣法蘭。

優選地，所述擋板設置為半月形的。

優選地，所述蝸桿固定件為深溝球軸承。

優選地，所述固定架還包括蝸桿蓋板，所述蝸桿蓋板固定至所述蝸桿支架。

優選地，所述可用于真空腔體的旋轉饋入裝置，還包括標尺指針；所述上法蘭設置標尺，所述標尺指針固定在所述蝸桿支架上，指向所述標尺。