[實用新型]一種超高真空旋轉饋入裝置有效
| 申請號： | 201920869832.5 | 申請日： | 2019-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN210290674U | 公開（公告）日： | 2020-04-10 |
| 發明（設計）人： | 謝斌平;郭云飛 | 申請（專利權）人： | 費勉儀器科技(南京)有限公司;費勉儀器科技(上海)有限公司 |
| 主分類號： | F16H57/021 | 分類號： | F16H57/021;F16H57/023;F16H57/025;F16H57/029;F16H57/039;H02K7/116;H02K5/173;G01B5/24 |
| 代理公司： | 上海精晟知識產權代理有限公司 31253 | 代理人： | 馮子玲 |
| 地址： | 210000 江蘇省南*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 超高 真空 旋轉 裝置 | ||
1.一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，包括：電機、電機支架、聯軸器、固定架、交叉滾子軸承、蝸桿、蝸輪、上法蘭和下法蘭；其中，
所述固定架包括軸承外圈蓋板、蝸桿支架和蝸桿固定件；
所述電機支架固定至所述電機，所述蝸桿支架固定至所述電機支架；
所述蝸桿固定件固定至所述蝸桿支架，所述蝸桿安裝在所述蝸桿固定件上，所述蝸桿一端連接至所述聯軸器；
所述上法蘭包括內圈固定端和伸入所述下法蘭的延長端，所述下法蘭包括外圈固定端和密封端；
所述軸承外圈蓋板固定至所述外圈固定端，所述交叉滾子軸承的外圈安裝至所述外圈固定端和所述軸承外圈蓋板；
所述延長端和所述密封端密封連接；
所述蝸輪安裝在所述上法蘭上，與所述蝸桿嚙合連接；
所述電機驅動所述蝸桿旋轉，帶動所述蝸輪和所述上法蘭旋轉。
2.根據權利要求1所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述蝸桿支架和所述軸承外圈蓋板為一體化制造的。
3.根據權利要求1或2所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述下法蘭還包括第一臺階，所述交叉滾子軸承的外圈安裝在所述第一臺階和所述軸承外圈蓋板之間。
4.根據權利要求3所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述內圈固定端包括第二臺階、擋板和擋板凹槽，所述擋板卡接在所述擋板凹槽中；所述交叉滾子軸承安裝在所述第二臺階和所述擋板之間。
5.根據權利要求4所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，還包括密封圈；所述密封端內側設置環形凹槽，所述密封圈安裝在所述環形凹槽中；所述凹槽與所述密封圈的數量相等，均設置為大于一個的。
6.根據權利要求5所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述下法蘭還包括抽氣機構，所述抽氣機構包括抽氣通道和差分抽氣法蘭；所述差分抽氣法蘭設置于所述密封端外側，所述抽氣通道設置于多個所述環形凹槽之間，通過無縫管連通至所述差分抽氣法蘭。
7.根據權利要求6所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述擋板設置為半月形的。
8.根據權利要求7所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述蝸桿固定件為深溝球軸承。
9.根據權利要求8所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，所述固定架還包括蝸桿蓋板，所述蝸桿蓋板固定至所述蝸桿支架。
10.根據權利要求9所述的一種超高真空旋轉饋入裝置，其特征在于，還包括標尺指針；所述上法蘭設置標尺，所述標尺指針固定在所述蝸桿支架上，指向所述標尺。
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