[實(shí)用新型]適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920852187.6 | 申請(qǐng)日: | 2019-06-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209766376U | 公開(公告)日: | 2019-12-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 馬賢鋒;劉建偉;于立鵬 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 浙江杭機(jī)新型合金材料有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67;H01L21/683;F27B21/08 |
| 代理公司: | 32260 無錫市匯誠(chéng)永信專利代理事務(wù)所(普通合伙) | 代理人: | 王闖 |
| 地址: | 311121 浙江省杭州市*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 覆銅陶瓷基板 燒結(jié) 壓件 治具 本實(shí)用新型 傳送帶 雙面燒結(jié) 梯形結(jié)構(gòu) 壓制燒結(jié) 支撐空間 固定的 支撐 制作 保證 | ||
1.適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,包括:
支撐座主體(10)以及置于支撐座主體(10)上的壓件組件(40);
其中支撐座主體(10)包括支撐座底座(11),分置于支撐座底座(11)表面兩側(cè)的支撐座左側(cè)座(12)以及支撐座右側(cè)座(13),且支撐座左側(cè)座(12)以及支撐座右側(cè)座(13)上的傾斜面相對(duì)設(shè)置,以在支撐座主體(10)內(nèi)定義形成上側(cè)開口小下側(cè)開口大的支撐空間,支撐座左側(cè)座(12)以及支撐座右側(cè)座(13)的傾斜面上設(shè)置有呈現(xiàn)T字狀的第一槽體(14)以及位于第一槽體(14)側(cè)邊的固定孔(15);
其中壓件組件(40)包括壓件壓板(42),壓件連接件(41)以及壓件固定件(43),壓件壓板(42)垂直于壓件連接件(41)設(shè)置,形成T字結(jié)構(gòu),壓件固定件(43)和固定孔(15)配合固定壓件組件(40)和支撐座主體(10)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,第一槽體(14)的上槽面貫通支撐座主體(10)的上側(cè),第一槽體(14)包括內(nèi)凹于支撐座左側(cè)座(12)和支撐座右側(cè)座(13)的內(nèi)凹槽以及延伸于內(nèi)凹槽兩側(cè)的邊槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,壓件連接件(41)的形狀尺寸匹配邊槽的形狀尺寸,當(dāng)壓件連接件(41)置于邊槽內(nèi),壓件壓板(42)從內(nèi)凹槽中向外凸起。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,固定孔(15)間隔地設(shè)置于第一槽體(14)的一側(cè)或者兩側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,壓件連接件(41)靠近固定孔(15)的一側(cè)活動(dòng)設(shè)置有壓件固定件(43),壓件連接件(41)和壓件固定件(43)之間設(shè)置有彈簧。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,壓件固定件(43)為活動(dòng)于壓件連接件(41)的柱體,該壓件固定件(43)的尺寸不大于固定孔(15)的尺寸。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,壓件連接件(41)上對(duì)應(yīng)固定孔(15)的位置設(shè)置通孔,當(dāng)壓件連接件(41)活動(dòng)至設(shè)定位置時(shí),在通孔和固定孔(15)內(nèi)插入壓件固定件(43)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1到7任一所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,支撐座底座(11)上形成有通氣孔(20)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1到7任一所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,支撐座主體(10)上設(shè)置有連接組件(30),該連接組件(30)包括置于相對(duì)兩側(cè)的連接凹槽(31)和連接凸起(32)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的適用于覆銅陶瓷基板雙面燒結(jié)的燒結(jié)治具,其特征在于,連接凹槽(31)設(shè)置在支撐座左側(cè)座(12)以及支撐座右側(cè)座(13)中任一的外側(cè)壁上,對(duì)應(yīng)的,支撐座左側(cè)座(12)以及支撐座右側(cè)座(13)中未設(shè)置有連接凹槽(31)的一側(cè)座的外側(cè)壁上設(shè)置連接凸起(32),其中連接凹槽(31)和連接凸起(32)的形狀匹配。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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