[實用新型]一種XY自校正頂針模組

有效

• 申請號: 201920849469.0
• 申請日: 2019-06-05
• 公開（公告）號: CN209963038U
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發明（設計）人: 王體;李輝
• 申請（專利權）人: 深圳市諾泰自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 44274 深圳市中聯專利代理有限公司
• 代理人: 李俊

1.一種XY自校正頂針模組，包括安全防護罩(1)、XY軸運動機構(2)、Z軸運動機構(3)和頂針運動機構(4)，其特征在于：所述XY軸運動機構(2)上端設置有Z軸運動機構(3)，所述Z軸運動機構(3)上端設置有頂針運動機構(4)，所述Z軸運動機構(3)上端設置有安全防護罩(1)，所述XY軸運動機構(2)由X軸運動機構與Y軸運動機構組成，所述X軸運動機構由X軸傳動電機(5)、偏心輪傳動機構(6)、X軸交叉滾柱軸承(7)、Y軸傳動電機(8)、彈簧推力機構(9)、移動工作平臺(10)、Y軸交叉滾柱軸承(11)與XY校正平臺底板(12)組成，所述Y軸運動機構由Y軸偏心輪(13)、X軸推擋塊(14)、X軸移動滑臺(15)、X軸彈簧推塊(16)、Y軸移動滑臺(17)、Y軸彈簧推塊(18)、Y軸傳動軸承(19)、Y軸軸承擋圈(20)、X軸偏心輪(21)、X軸傳動軸承(22)、X軸軸承擋圈(23)、Y軸推擋塊(24)、X軸傳動電機(5)、X軸交叉滾柱軸承(7)、Y軸傳動電機(8)、Y軸交叉滾柱軸承(11)與XY校正平臺底板(12)組成，所述Z軸運動機構(3)由Z軸張力彈簧(25)、Z軸導向滑軌(26)、側邊聯接板(27)、支撐聯接底板(28)、張力彈簧拉桿(29)、Z軸位置傳感器(31)、Z軸傳動電機(32)、電機安裝座(33)、Z軸偏心聯桿(34)與Z軸凸輪隨動器(35)組成，所述頂針運動機構(4)由頂針帽(36)、頂針傳感器(37)、頂針帽真空倉(38)、頂針安裝導桿(39)、頂針移動導塊(40)、頂針彈簧柱(41)、頂針帽防護罩(42)、頂針帽安裝座(43)、頂針傳動電機(44)、電機安裝板(45)、頂針傳動軸承(46)、頂針傳動導塊(47)、O型密封圈(48)、頂針(49)、頂針帽防撞環(50)、防撞環內套(51)、真空倉緊固螺絲(52)、張力彈簧拉柱(53)、直線導軌(54)、直線滑塊(55)、頂針位移遮光片(56)、彈簧柱螺帽(57)、頂針拉簧(58)、頂針緊固帽(59)、頂針夾爪(60)、外導電環(61)、防撞環彈簧(62)、內導電環(63)、星形密封圈(64)、Z軸位移遮光片(65)、頂針偏心輪(66)、軸承限位埠(67) 組成，所述頂針帽(36)上端設置有藍膜(68)，所述藍膜(68)上端設置有芯片(69)，所述頂針帽(36)下端設置有抽真空(70)，所述抽真空(70)下端設置有頂針帽偏心輪(71)。

2.根據權利要求1所述的一種XY自校正頂針模組，其特征在于：所述X軸傳動電機(5)一端設置有偏心輪傳動機構(6)，所述偏心輪傳動機構(6)一側設置有X軸交叉滾柱軸承(7)，所述X軸交叉滾柱軸承(7)下端設置有XY校正平臺底板(12)，所述XY校正平臺底板(12)一側設置有Y軸交叉滾柱軸承(11)，所述XY校正平臺底板(12)上端設置有移動工作平臺(10)，所述移動工作平臺(10)一側設置有彈簧推力機構(9)，所述X軸傳動電機(5)一側設置有Y軸傳動電機(8)。

3.根據權利要求1所述的一種XY自校正頂針模組，其特征在于：所述XY校正平臺底板(12)上端設置有Y軸交叉滾柱軸承(11)，所述Y軸交叉滾柱軸承(11)上端設置有Y軸彈簧推塊(18)，所述Y軸彈簧推塊(18)上端設置有Y軸移動滑臺(17)，所述Y軸移動滑臺(17)上端設置有X軸彈簧推塊(16)，所述X軸彈簧推塊(16)上端設置有X軸交叉滾柱軸承(7)，所述X軸交叉滾柱軸承(7)上端設置有X軸移動滑臺(15)，所述X軸移動滑臺(15)上端設置有X軸推擋塊(14)。

4.根據權利要求1所述的一種XY自校正頂針模組，其特征在于：所述XY校正平臺底板(12)上端內部設置有Y軸軸承擋圈(20)，所述Y軸軸承擋圈(20)上端設置有Y軸傳動軸承(19)，所述Y軸傳動軸承(19)上端設置有Y軸偏心輪(13)，所述Y軸偏心輪(13)上端設置有Y軸傳動電機(8)，所述Y軸移動滑臺(17)一側設置有Y軸推擋塊(24)，所述Y軸推擋塊(24)一側設置有X軸軸承擋圈(23)，所述X軸軸承擋圈(23)一側設置有X軸傳動軸承(22)，所述X軸傳動軸承(22)一側設置有X軸偏心輪(21)，所述X軸偏心輪(21)一側設置有X軸傳動電機(5)。