[實用新型]一種XY自校正頂針模組

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920849469.0
• 申請日: 2019-06-05
• 公開（公告）號: CN209963038U
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王體;李輝
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市諾泰自動化設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/68;H01L21/683
• 代理公司: 44274 深圳市中聯(lián)專利代理有限公司
• 代理人: 李俊

本實用新型公開了一種XY自校正頂針模組，包括安全防護(hù)罩、XY軸運動機(jī)構(gòu)、Z軸運動機(jī)構(gòu)和頂針運動機(jī)構(gòu)，所述XY軸運動機(jī)構(gòu)上端設(shè)置有Z軸運動機(jī)構(gòu)，所述Z軸運動機(jī)構(gòu)上端設(shè)置有頂針運動機(jī)構(gòu)，所述Z軸運動機(jī)構(gòu)上端設(shè)置有安全防護(hù)罩，所述XY軸運動機(jī)構(gòu)由X軸運動機(jī)構(gòu)與Y軸運動機(jī)構(gòu)組成，所述X軸運動機(jī)構(gòu)由X軸傳動電機(jī)、偏心輪傳動機(jī)構(gòu)、X軸交叉滾柱軸承、Y軸傳動電機(jī)、彈簧推力機(jī)構(gòu)、移動工作平臺、Y軸交叉滾柱軸承與XY校正平臺底板組成，這樣大大解放了操作員的雙手，降低人力成本，提高生產(chǎn)效率，其結(jié)果能夠滿足半導(dǎo)體芯片高速度、高精度、高可靠性、高自動化的芯片生產(chǎn)工藝要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型屬于工業(yè)自動化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種XY自校正頂針模組。

背景技術(shù)

頂針模組是固晶機(jī)中用于協(xié)助對擺臂吸嘴在晶圓盤藍(lán)膜中取芯片的機(jī)構(gòu)，當(dāng)吸嘴在芯片的上方時，頂針伸出刺穿粘附芯片的藍(lán)膜，將芯片轉(zhuǎn)移至吸嘴，隨擺臂吸嘴將芯片轉(zhuǎn)移出去。伴隨半導(dǎo)體芯片(LED)類的發(fā)展，以及國家對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力支持，因此市場對半導(dǎo)體芯片(LED)類封裝類設(shè)備的需求日益增長，這就要求對設(shè)備速度、產(chǎn)能、自動化程度要求越來越高。

傳統(tǒng)的頂針模組不能具備自動升降功能，不能使用在晶圓盤自動上下料的設(shè)備中；同時當(dāng)設(shè)備作頂針與吸嘴位置調(diào)校時，傳統(tǒng)的頂針模組是依靠手動微調(diào)，通過操作人員肉眼的觀察與人為經(jīng)驗手動去調(diào)校位置，這種方式不能適應(yīng)高精度、高速度、高自動化、高可靠性要求的設(shè)備。

實用新型內(nèi)容

本實用新型要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供一種XY自校正頂針模組，以解決上述背景技術(shù)中提出的傳統(tǒng)的頂針模組不能具備自動升降功能，不能使用在晶圓盤自動上下料的設(shè)備中；同時當(dāng)設(shè)備作頂針與吸嘴位置調(diào)校時，傳統(tǒng)的頂針模組是依靠手動微調(diào)，通過操作人員肉眼的觀察與人為經(jīng)驗手動去調(diào)校位置，這種方式不能適應(yīng)高精度、高速度、高自動化、高可靠性要求的設(shè)備的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種XY自校正頂針模組，包括安全防護(hù)罩、XY軸運動機(jī)構(gòu)、Z軸運動機(jī)構(gòu)和頂針運動機(jī)構(gòu)，所述 XY軸運動機(jī)構(gòu)上端設(shè)置有Z軸運動機(jī)構(gòu)，所述Z軸運動機(jī)構(gòu)上端設(shè)置有頂針運動機(jī)構(gòu)，所述Z軸運動機(jī)構(gòu)上端設(shè)置有安全防護(hù)罩，所述XY軸運動機(jī)構(gòu)由 X軸運動機(jī)構(gòu)與Y軸運動機(jī)構(gòu)組成，所述X軸運動機(jī)構(gòu)由X軸傳動電機(jī)、偏心輪傳動機(jī)構(gòu)、X軸交叉滾柱軸承、Y軸傳動電機(jī)、彈簧推力機(jī)構(gòu)、移動工作平臺、Y軸交叉滾柱軸承與XY校正平臺底板組成，所述Y軸運動機(jī)構(gòu)由Y軸偏心輪、X軸推擋塊、X軸移動滑臺、X軸彈簧推塊、Y軸移動滑臺、Y軸彈簧推塊、Y軸傳動軸承、Y軸軸承擋圈、X軸偏心輪、X軸傳動軸承、X軸軸承擋圈、 Y軸推擋塊、X軸傳動電機(jī)、X軸交叉滾柱軸承、Y軸傳動電機(jī)、Y軸交叉滾柱軸承與XY校正平臺底板組成，所述Z軸運動機(jī)構(gòu)由Z軸張力彈簧、Z軸導(dǎo)向滑軌、側(cè)邊聯(lián)接板、支撐聯(lián)接底板、張力彈簧拉桿、頂針運動機(jī)構(gòu)、Z軸位置傳感器、Z軸傳動電機(jī)、電機(jī)安裝座、Z軸偏心聯(lián)桿與Z軸凸輪隨動器組成，所述頂針運動機(jī)構(gòu)由頂針帽、頂針傳感器、頂針帽真空倉、頂針安裝導(dǎo)桿、頂針移動導(dǎo)塊、頂針彈簧柱、頂針帽防護(hù)罩、頂針帽安裝座、頂針傳動電機(jī)、電機(jī)安裝板、頂針傳動軸承、頂針傳動導(dǎo)塊、O型密封圈、頂針、頂針帽防撞環(huán)、防撞環(huán)內(nèi)套、真空倉緊固螺絲、張力彈簧拉柱、直線導(dǎo)軌、直線滑塊、頂針位移遮光片、彈簧柱螺帽、頂針拉簧、頂針緊固帽、頂針夾爪、外導(dǎo)電環(huán)、防撞環(huán)彈簧、內(nèi)導(dǎo)電環(huán)、星形密封圈、Z軸位移遮光片、頂針偏心輪、軸承限位埠組成，所述頂針帽上端設(shè)置有藍(lán)膜，所述藍(lán)膜上端設(shè)置有芯片，所述頂針帽下端設(shè)置有抽真空，所述抽真空下端設(shè)置有頂針帽偏心輪。

優(yōu)選的，所述X軸傳動電機(jī)一端設(shè)置有偏心輪傳動機(jī)構(gòu)，所述偏心輪傳動機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有X軸交叉滾柱軸承，所述X軸交叉滾柱軸承下端設(shè)置有XY校正平臺底板，所述XY校正平臺底板一側(cè)設(shè)置有Y軸交叉滾柱軸承，所述XY校正平臺底板上端設(shè)置有移動工作平臺，所述移動工作平臺一側(cè)設(shè)置有彈簧推力機(jī)構(gòu)，所述X軸傳動電機(jī)一側(cè)設(shè)置有Y軸傳動電機(jī)。